[實(shí)用新型]鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120226074.9
• 申請(qǐng)日: 2011-06-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202162169U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊延德;葉權(quán)華;楊文侃
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/08
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/08;B08B3/02;H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專(zhuān)利事務(wù)所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及清洗裝置的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種可以實(shí)現(xiàn)對(duì)SE工藝保護(hù)層的流水線清洗的鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能SE工藝中需要對(duì)保護(hù)層進(jìn)行清洗，清洗的過(guò)程中需要用到堿液，由于在清洗過(guò)程中保護(hù)層滲泡松軟會(huì)脫落到堿液中，影響了堿液的純度，進(jìn)而降低了堿液原有的功能，使得堿液的使用壽命大大地降低，故堿液的使用量也會(huì)隨之加大。有時(shí)為了清除堿液中脫落下來(lái)的保護(hù)層，工作人員需要暫停機(jī)器的運(yùn)作，這樣勢(shì)必影響設(shè)備的使用率，降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是：為了解決上述背景技術(shù)中的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種可以實(shí)現(xiàn)對(duì)SE工藝保護(hù)層的流水線清洗且藥液使用壽命高的鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)，具有依次排布的粗洗槽、水洗槽和精洗槽，粗洗槽內(nèi)設(shè)置有第一過(guò)濾器，精洗槽內(nèi)設(shè)置有第二過(guò)濾器。

進(jìn)一步地：粗洗槽的粗洗槽長(zhǎng)度方向的尺寸為0.7±0.2M，水洗槽的水洗槽長(zhǎng)度方向的尺寸為0.5±0.1M，精洗槽的精洗槽長(zhǎng)度方向的尺寸為1.8±0.3M。

進(jìn)一步地：粗洗槽為滲泡式堿洗槽，水洗槽為噴淋式，精洗槽為滲泡加噴淋式堿洗槽。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型的鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

一、可以實(shí)現(xiàn)對(duì)SE工藝中保護(hù)層的流水線式清洗。

二、合理的槽體長(zhǎng)度和工藝目的設(shè)計(jì)：0.7±0.2M粗洗槽將晶片表面的保護(hù)層滲泡松軟而不脫落或少量脫落；0.5±0.1M水洗槽將保護(hù)層噴淋沖洗掉后排掉，不會(huì)導(dǎo)致保護(hù)層物質(zhì)在槽內(nèi)積累；1.8±0.3M精洗槽噴淋滲泡將殘留的少量的保護(hù)層徹底清除干凈。

三、粗洗槽和精洗槽內(nèi)分別設(shè)置有第一過(guò)濾器和第二過(guò)濾器，每套過(guò)濾器可以單獨(dú)工作，之間相互交替，減少設(shè)備停產(chǎn)時(shí)間，并能保證保護(hù)層物質(zhì)在槽體內(nèi)及時(shí)被清除。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中1、粗洗槽，1-1、第一過(guò)濾器，2、水洗槽，3、精洗槽，3-1、第二過(guò)濾器，A、粗洗槽長(zhǎng)度方向的尺寸，B、水洗槽長(zhǎng)度方向的尺寸，C、精洗槽長(zhǎng)度方向的尺寸。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。

如圖1所示的鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)，具有依次排布的粗洗槽1、水洗槽2和精洗槽3，粗洗槽1內(nèi)設(shè)置有第一過(guò)濾器1-1，精洗槽3內(nèi)設(shè)置有第二過(guò)濾器3-1，第一過(guò)濾器1-1和第二過(guò)濾器3-1可以單獨(dú)工作，之間相互交替，減少設(shè)備停產(chǎn)時(shí)間，并能保證保護(hù)層物質(zhì)在槽體內(nèi)及時(shí)被清除。

其中粗洗槽1的粗洗槽長(zhǎng)度方向的尺寸A為0.7±0.2M，水洗槽2的水洗槽長(zhǎng)度方向的尺寸B為0.5±0.1M，精洗槽3的精洗槽長(zhǎng)度方向的尺寸C為1.8±0.3M。粗洗槽1為滲泡式堿洗槽，水洗槽2為噴淋式，精洗槽3為滲泡加噴淋式堿洗槽。0.7±0.2M的粗洗槽1將晶片表面的保護(hù)層滲泡松軟而不脫落或少量脫落；0.5±0.1M的水洗槽2將保護(hù)層噴淋沖洗掉后排掉，不會(huì)導(dǎo)致保護(hù)層物質(zhì)在槽內(nèi)積累；1.8±0.3M的精洗槽3噴淋滲泡將殘留的少量的保護(hù)層徹底清除干凈。該清洗機(jī)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)保護(hù)層物質(zhì)的流水線式清洗。

以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書(shū)上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。