[實用新型]一種應(yīng)用于真空涂層領(lǐng)域的新型工件架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120223819.6
• 申請日: 2011-06-29
• 公開（公告）號: CN202139292U
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐健;鄧朝陽;張云龍
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫啟恒科技有限公司
• 主分類號: C23C14/40
• 分類號: C23C14/40;C23C16/458
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種應(yīng)用于真空涂層領(lǐng)域的工件架，包括工件架大盤(5)、工件架小盤(6)、工件套管(8)和撥叉(7)，其特征在于，工件架大盤(5)上安裝有多個工件架小盤(6)，工件架小盤(6)上安裝有多個工件套管(8)，每個工件架小盤(6)相應(yīng)安裝有撥叉(7)。

2.權(quán)利要求1所述的工件架，其特征在于每個工件架小盤(6)相應(yīng)安裝有一個或者多個撥叉(7)。

3.權(quán)利要求1所述的撥叉，其特征在于每個撥叉(7)提供一個或者多個觸點。