[實(shí)用新型]分選機(jī)測(cè)試夾緊機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120223525.3
• 申請(qǐng)日: 2011-06-27
• 公開（公告）號(hào): CN202137136U
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁大明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海中藝自動(dòng)化系統(tǒng)有限公司
• 主分類號(hào): B07C5/344
• 分類號(hào): B07C5/344
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工工藝中的分選機(jī)，尤其涉及一種分選機(jī)測(cè)試夾緊機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

分選機(jī)是半導(dǎo)體加工工藝中，最后對(duì)集成電路產(chǎn)品進(jìn)行品質(zhì)測(cè)試，按不同的品質(zhì)，分類收集成品的機(jī)械設(shè)備。測(cè)試夾緊機(jī)構(gòu)是分選機(jī)的核心功能機(jī)構(gòu)。

現(xiàn)有分選機(jī)測(cè)試夾緊機(jī)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)及工作原理如圖1所示：以兩側(cè)氣缸為動(dòng)力源，由該氣缸驅(qū)動(dòng)的壓塊(22)、壓塊(23)推動(dòng)左、右測(cè)試簧片往中間靠攏，使測(cè)試簧片的上部頂端與定位于中間位置的集成電路的引腳接觸：測(cè)試儀便通過測(cè)試簧片向集成電路通電檢測(cè)集成電路的品質(zhì)。該機(jī)構(gòu)的缺陷是：左、右兩側(cè)的兩個(gè)氣缸分別驅(qū)動(dòng)左、右壓塊，由于左、右氣缸的驅(qū)動(dòng)動(dòng)作很難達(dá)到一致，因此，驅(qū)動(dòng)壓塊(22)、壓塊(23)時(shí)速度、力量均有所不同，相對(duì)于集成電路的行程也會(huì)不一致，從而引起左、右測(cè)試簧片與集成電路引腳接觸不同時(shí)，接觸力不一樣，簧片的彎曲變形量不一致，進(jìn)而引起測(cè)試不準(zhǔn)確，誤測(cè)率高、速度慢、測(cè)試簧片壽命短，集成電路引腳被弄彎等，直接影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)已有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種分選機(jī)測(cè)試夾緊機(jī)構(gòu)，解決現(xiàn)有機(jī)構(gòu)左、右兩側(cè)氣缸驅(qū)動(dòng)方式所存在的上述技術(shù)缺陷。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種分選機(jī)測(cè)試夾緊機(jī)構(gòu)，由簧片機(jī)構(gòu)和壓靠機(jī)構(gòu)組成，該簧片機(jī)構(gòu)包括一測(cè)試簧片保持架和位于測(cè)試簧片保持架上的左、右測(cè)試簧片；該壓靠機(jī)構(gòu)包括一氣缸及由該氣缸驅(qū)動(dòng)的壓塊，所述的該驅(qū)動(dòng)壓塊分別位于左、右測(cè)試簧片兩側(cè)。

所說的氣缸位于簧片機(jī)構(gòu)的豎直上方。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：

1、本實(shí)用新型的壓靠機(jī)構(gòu)包括一氣缸及由該氣缸驅(qū)動(dòng)的壓塊，該驅(qū)動(dòng)壓塊分別于左、右測(cè)試簧片兩側(cè)。該單氣缸驅(qū)動(dòng)壓塊工作的結(jié)構(gòu)比左、右側(cè)雙氣缸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)利于壓塊保持相同速度、力量，相對(duì)于集成電路保持一致的行程，且節(jié)省了材料。

2、本實(shí)用新型的氣缸可豎直設(shè)置于簧片機(jī)構(gòu)上方，有利于減小整個(gè)機(jī)構(gòu)的占用面積。

附圖說明：

圖1是已有技術(shù)的分選機(jī)測(cè)試夾緊機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中標(biāo)號(hào)說明：

1-簧片機(jī)構(gòu)????2-壓靠機(jī)構(gòu)????3-集成電路

11-測(cè)試簧片保持架???12-測(cè)試簧片???13-測(cè)試簧片

21-氣缸；???????????22-壓塊???????23-壓塊

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖進(jìn)一步說明本實(shí)用新型是如何實(shí)現(xiàn)的：

如附圖1，分選機(jī)測(cè)試夾緊機(jī)構(gòu)，它由簧片機(jī)構(gòu)1和壓靠機(jī)構(gòu)2組成，該簧片機(jī)構(gòu)1包括一測(cè)試簧片保持架11和位于測(cè)試簧片保持架11上的左、右測(cè)試簧片12和測(cè)試簧片13，該壓靠機(jī)構(gòu)2包括一氣缸21及由該氣缸驅(qū)動(dòng)的壓塊22和壓塊23，該驅(qū)動(dòng)壓塊22和壓塊23分別位于左、右測(cè)試簧片12和測(cè)試簧片13兩側(cè)。氣缸21位于簧片機(jī)構(gòu)1的豎直上方。

使用時(shí)，以氣缸21為動(dòng)力源，由該氣缸21驅(qū)動(dòng)的壓塊22和壓塊23推動(dòng)左、右測(cè)試簧片12和測(cè)試簧片13往中間靠攏，使測(cè)試簧片12和測(cè)試簧片13的上部頂端與定位于中間位置的集成電路3的引腳接觸；測(cè)試儀通過測(cè)試簧片12和測(cè)試簧片13向集成電路通電檢測(cè)集成電路的品質(zhì)。