[實用新型]薄膜體聲波共振式生物傳感器

有效

• 申請號: 201120222597.6
• 申請日: 2011-06-28
• 公開（公告）號: CN202159037U
• 公開（公告）日: 2012-03-07
• 發明（設計）人: 陳英忠;鄭建銓;張瑋才;高國陞;林瑞欽;姜嘉銘;楊畯閎
• 申請（專利權）人: 陳英忠
• 主分類號: G01N29/00
• 分類號: G01N29/00
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 李寧;唐紹烈

技術領域

本實用新型涉及一種生物傳感器,特別是涉及一種利用薄膜體聲波共振器作為感測主體的薄膜體聲波共振式生物傳感器。

背景技術

如圖1所示,現有習知薄膜體聲波共振器(Film?Bulk?Acoustic?Resonator,?FBAR)主要由一硅基板S、一下電極E1、一壓電層F以及一上電極E2所構成，其利用該壓電層F所具有的機械-電氣能量轉換特性，以駐波原理形成特定頻率的機械共振，且以該壓電層F作為振動體，利用其壓電效應特性，經由該下電極E1及該上電極E2通以電壓訊號使其產生共振作用。然而，生物傳感器所偵測的生物目標大都為液態分子，而現有習知薄膜體聲波共振器結構的特征共振頻率在遭遇液態介質時，其頻率訊號會消失，因此，無法用以檢測生物分子的相關特性。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種薄膜體聲波共振式生物傳感器，所要解決的技術問題是使薄膜體聲波共振器可用以檢測生物分子特性，非常適于實用。

本實用新型的目的及解決其技術問題是采用以下的技術方案來實現的。依據本實用新型提出的一種薄膜體聲波共振式生物傳感器,其包含:一薄膜體聲波共振器，其包含一基板、一第一電極層、一形成于該第一電極層上的壓電層以及一形成于該壓電層上的第二電極層，該基板具有一第一表面、一相對的第二表面、一連通該第一表面與該第二表面的空腔，該第一電極層形成于該基板的第一表面，且其具有一對應該空腔的顯露面，該壓電層具有一晶格排列方向，該晶格排列方向與垂直該第一表面的鉛垂線之間具有一夾角；一接著層，其形成于該第一電極層的顯露面；一感測層，其形成于該接著層上；以及一生物吸附層，其形成于該感測層上。

本實用新型的目的以及解決其技術問題還可以采用以下的技術措施來進一步實現。

前述的薄膜體聲波共振式生物傳感器,其中所述的夾角為一銳角。

前述的薄膜體聲波共振式生物傳感器,其中所述的生物吸附層為胱胺酸。

前述的薄膜體聲波共振式生物傳感器,其中所述的生物吸附層位于該基板的空腔內。

前述的薄膜體聲波共振式生物傳感器,其中所述的接著層材質為鉻。

前述的薄膜體聲波共振式生物傳感器,其中所述的感測層材質為金。

采用上述技術方案后，本實用新型薄膜體聲波共振式生物傳感器至少具有下列優點及有益效果：本實用新型使薄膜體聲波共振器可用以檢測生物分子特性及提高生物傳感器的靈敏度，其不論在產品結構或功能上皆有較大改進，在技術上有顯著的進步，并產生了好用及實用的效果，且較現有的生物傳感器具有增進的突出功效，從而更加適于實用。

上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂,以下特舉較佳實施例,并配合附圖,詳細說明如下。?

附圖說明

圖1是現有習知薄膜體聲波共振器的結構示意圖；

圖2是本實用新型一種薄膜體聲波共振式生物傳感器的結構示意圖；

圖3是一待測生物目標置入該薄膜體聲波共振式生物傳感器的情境示意圖。

10：?薄膜體聲波共振器???????11：?基板

11a：第一表面???????????????11b：第二表面

111：空腔???????????????????12：?第一電極層?

12a：顯露面?????????????????13：?壓電層??

13a：晶格排列方向???????????14：?第二電極層?

20：?接著層?????????????????30：?感測層??

40：?生物吸附層?????????????50：?待測生物目標

E1：?下電極?????????????????E2：?上電極

F：??壓電層?????????????????L：??鉛垂線??

S：??硅基板?????????????????θ：??夾角。?????????????

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型為達成預定發明目的所采取的技術手段及功效,以下結合附圖及較佳實施例，對依據本實用新型提出的薄膜體聲波共振式生物傳感器的具體實施方式、結構、特征及其功效，詳細說明如后。