[實用新型]薄膜體聲波共振式流體傳感器有效
| 申請號： | 201120222595.7 | 申請日： | 2011-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN202166424U | 公開（公告）日： | 2012-03-14 |
| 發明（設計）人： | 陳英忠;鄭建銓;張瑋才;高國陞;林瑞欽;姜嘉銘;楊畯閎 | 申請（專利權）人： | 陳英忠 |
| 主分類號： | G01D5/12 | 分類號： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203 | 代理人： | 李寧;唐紹烈 |
| 地址： | 中國臺灣臺南市東區*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 聲波 共振 流體 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.薄膜體聲波共振式流體傳感器,其特征在于其包含：
一薄膜體聲波共振器，其包含：
一基板，其具有一第一表面、一相對的第二表面、一連通該第一表面與該第二表面的空腔；
一第一電極層，形成于該基板的第一表面，其具有一對應該空腔的顯露面；
一壓電層，形成于該第一電極層上，其具有一晶格排列方向，該晶格排列方向與垂直該第一表面的鉛垂線之間具有一夾角；及
一第二電極層，形成于該壓電層上；
一接著層，形成于該第一電極層的顯露面；以及
一流體檢測層，形成于該接著層上。
2.如權利要求1所述的薄膜體聲波共振式流體傳感器,其特征在于其中所述的夾角為一銳角。
3.如權利要求1所述的薄膜體聲波共振式流體傳感器,其特征在于其中所述的接著層的材質為鉻。
4.如權利要求1所述的薄膜體聲波共振式流體傳感器,其特征在于其中所述的流體檢測層的材質為金。
5.如權利要求1所述的薄膜體聲波共振式流體傳感器,其特征在于其中所述的流體檢測層位于該基板的空腔內。
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