[實用新型]真空設備的轉軸裝置

有效

• 申請號: 201120218628.0
• 申請日: 2011-06-23
• 公開（公告）號: CN202144513U
• 公開（公告）日: 2012-02-15
• 發明（設計）人: 黃泳釗;鄭博仁;謝昆山;張延任
• 申請（專利權）人: 北儒精密股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 上海一平知識產權代理有限公司 31266
• 代理人: 任永武;須一平

1.一種真空設備的轉軸裝置，其設置在一個容置一塊基板的腔體上，并包含一個貫穿設置在該腔體的一個腔壁上的轉軸單元，該轉軸單元具有一根中心軸；其特征在于：

該真空設備的轉軸裝置還包含一個設置在該腔體外且驅使該中心軸相對該腔體進行轉動的驅轉單元，以及一個設置在該腔體外且驅使該中心軸相對該腔體進行軸向位移的軸移單元，該中心軸具有一個位在該腔體中且用以承載該基板的第一端部，以及一個相反于該第一端部且位在該腔體外并與該驅轉單元連結的第二端部。

2.根據權利要求1所述的真空設備的轉軸裝置，其特征在于：該軸移單元具有一個進行張合動作以夾持或松放該中心軸的第二端部的夾爪件，以及一個連結該夾爪件且驅使其帶動該中心軸進行軸向位移的動力件。

3.根據權利要求2所述的真空設備的轉軸裝置，其特征在于：該軸移單元還具有一個連結該夾爪件與該動力件的連接板，該動力件具有一個缸體，以及一個平行該中心軸且可伸縮動作地插伸在該缸體中的桿體，該桿體的凸出該缸體的一端連接該連接板。

4.根據權利要求2或3所述的真空設備的轉軸裝置，其特征在于：該轉軸單元的中心軸的第二端部具有一個供該軸移單元的夾爪件扣入的凹槽。

5.根據權利要求1所述的真空設備的轉軸裝置，其特征在于：該轉軸單元還包括一個套設并固定在該中心軸的第一端部的承載輪。

6.根據權利要求4所述的真空設備的轉軸裝置，其特征在于：該轉軸單元還包括一個套設并固定在該中心軸的第一端部的承載輪。