[實(shí)用新型]一種單晶硅棒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120218183.6
• 申請(qǐng)日: 2011-06-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202187091U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倪云達(dá);葛正芳;錢大豐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇順大半導(dǎo)體發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): C30B29/06
• 分類號(hào): C30B29/06;C30B29/60
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 徐激波

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種單晶硅棒。

背景技術(shù)

單晶硅棒是硅的單晶體，是具有基本完整點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，不同的方向具有不同的性質(zhì)，是一種良好的半導(dǎo)體材料。單晶硅具有準(zhǔn)金屬的物理性質(zhì)，具有較弱的導(dǎo)電性，其導(dǎo)電率隨溫度的升高而增加，有顯著的半導(dǎo)電性。在超純單晶硅中摻入微量的IIIA族元素，如硼，可以提高其導(dǎo)電的程度，而形成P型硅半導(dǎo)體；如摻入微量的VA族元素，如磷或砷，可以提高導(dǎo)電程度，形成N型硅半導(dǎo)體。

在單晶硅棒線切割時(shí)，線網(wǎng)接觸晶體棒表面的時(shí)候，由于力的作用容易擺動(dòng)，這樣一來(lái)切割出來(lái)的晶片在入刀口就會(huì)產(chǎn)生厚薄不均的現(xiàn)象；另外剛剛?cè)氲稌r(shí)，線網(wǎng)必須拉出一定的線弓后才會(huì)具備很強(qiáng)的切割力，如果線網(wǎng)直接接觸晶體棒，在拉線弓的時(shí)候會(huì)導(dǎo)致晶片的一個(gè)角度偏厚。

同時(shí)，在單晶硅棒線切割時(shí)，晶體棒兩頭無(wú)任何保護(hù)措施直接安裝在線切割機(jī)上進(jìn)行切割，切割過(guò)程中鋼線帶著液體磨料以每分鐘600多米的線速度沖擊晶片，晶體棒兩頭的晶片應(yīng)為沒(méi)有任何保護(hù)措施，且晶片本身厚度非常薄，材料也非常脆，這樣一來(lái)，晶體棒兩頭的晶片很容易被磨料沖碎；另外，切割過(guò)程中對(duì)端面產(chǎn)生的碎片會(huì)直接掉到線網(wǎng)上，斷線的幾率因此大大提升。

實(shí)用新型內(nèi)容

發(fā)明目的：為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)合理，能夠有效提高晶片質(zhì)量和成品率的單晶硅棒。

技術(shù)方案：為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采樣的技術(shù)方案為：

一種單晶硅棒，包括硅棒本體，所述硅棒本體底部通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂沾粘在底座上，在硅棒本體的頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有兩條平行于硅棒本體軸向的導(dǎo)向條，在硅棒本體的前后兩個(gè)端部設(shè)有擋板；所述導(dǎo)向條和擋板都為樹(shù)脂材質(zhì)，且都通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂沾粘在硅棒本體上。

所述硅棒本體優(yōu)選為8英寸單晶硅棒。

有益效果：本實(shí)用新型提供的單晶硅棒，使晶片入刀口厚薄均勻，入刀時(shí)線網(wǎng)接觸粘在硅棒上的導(dǎo)向條，等線網(wǎng)穩(wěn)定后才會(huì)切割到硅棒，有效防止晶片入刀口厚薄不均問(wèn)題，同時(shí)線網(wǎng)在切割導(dǎo)向條時(shí)線弓已經(jīng)產(chǎn)生，也可有效避免晶片的一個(gè)角厚度偏薄現(xiàn)象，提高晶片的質(zhì)量；且硅棒兩端的擋板可以在切割過(guò)程中對(duì)硅棒本體兩端的晶片起保護(hù)作用，提高了成品率，切割過(guò)程中對(duì)接端面產(chǎn)生的碎片不會(huì)掉下來(lái)，降低了斷線率。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作更進(jìn)一步的說(shuō)明。

如附圖1所示為一種單晶硅棒，包括8英寸硅棒本體1，所述硅棒本體1底部通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂沾粘在底座4上，在硅棒本體1的頂部?jī)蓚?cè)設(shè)有兩條平行于硅棒本體1軸向的導(dǎo)向條2，在硅棒本體1的前后兩個(gè)端部設(shè)有擋板3；所述導(dǎo)向條2和擋板3都為樹(shù)脂材質(zhì)，且都通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂沾粘在硅棒本體1上。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出：對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。