[實用新型]一種PECVD用基板架自動識別裝置

有效

• 申請號: 201120215055.6
• 申請日: 2011-06-23
• 公開（公告）號: CN202131369U
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: 崔獻剛;李松;王暉;吉星;白玉峰;韓永兵;宋文杰
• 申請（專利權）人: 河南新能光伏有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52
• 代理公司: 安陽市智浩專利代理事務所 41116
• 代理人: 張智和

技術領域

???本實用新型涉及一種PECVD用基板架自動識別裝置，特別涉及一種在多腔室進行周轉的基板架的識別裝置，屬于機電設備領域。?

背景技術

???PECVD被廣泛的應用于半導體行業的薄膜沉積制程中，近年來廣泛發展的非晶硅薄膜制一般都選擇PECVD工藝，為避免交叉污染和提高生產效率，多室多片型的腔室涉及被認為是主流的發展方向，在這種腔室形式的PECVD生產過程中，玻璃基片要用基板架輸送到不同的腔室沉積，每套PECVD設備生產過程中要使用多臺基板架以滿足產量要求。實際生產中，需要對各基板架編號，人為記錄每個基板架行程位置，以便于對沉積質量進行管理和控制，但是在節拍大于每分鐘一片的情況下，人為記錄每個基板架行程位置是個很繁瑣的工作，增加勞動強度且容易發生錯誤記錄，影響生產和質量控制，從而降低生產效率。?

發明內容

本實用新型為提供一種PECVD用基板架自動識別裝置，能夠識別并記錄不同的基板架及其行程。?

本實用新型所提供的一種PECVD用基板架自動識別裝置，包括基板架,在基片架行程起始位置設置有接近開關，在基片架前端設置有接近體安裝位，安裝位內可選擇安裝或不安裝接近體，所述的接近開關設置數量大于兩個，基片架上的安裝位數與接近開光數相對應，所述的接近開關設置數量為六個，所述的接近開關信號接入PLC識別。?

本實用新型的有益效果是：能夠自動識別、記錄基板架行程，提高記錄準確率，降低勞動強度，提高生產效率。?

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。?

具體實施方式

為更好的理解本實用新型，提供具體實施方式，但本實用新型不受限于該具體的實施例。?

???如附圖所示，在基板架1行程的起始位置設置接近開關2，接近開關數量大于兩個，本實施例中，共設置六個接近開關，分別為接近開關2、接近開關21、接近開關22、接近開關23、接近開關24、接近開關25，在基板架前端設置接近體安裝位，本實施例中共設置有六個接近體安裝位，在接近體安裝位內選擇安裝或不安裝接近體，本實施例中，六個安裝位都安裝有接近體，分別是接近體3、接近體31、接近體32、接近體33、接近體34、接近體35，接近開關信號接入PLC識別。?

本實用新型的工作過程如下：?

采用二進制對各臺基板架編出8421碼，基板架前端設計的六個識別近接體安裝孔，分別代表二進制的六個位，單個基板架每個位編碼是“1”的安裝識別近接體，“0”的不安裝，在基板架行程開始的上片臺安裝一組六個近接開關，分別對應基板架不同的位數，這樣在基板架行程開始時，通過近接開關不同位的通、斷，傳遞信號到PLC，再通過程序反饋到終端電腦，人們可以在終端電腦上查出每個基板架在每個時間段的行程位置，2進制的六個位可以對六十三臺基板架編碼，如需要更多基板架，增加接近開關和接近體的數量即可滿足要求。

????本實用新型能夠自動識別、記錄基板架行程，有利于PECVD沉積過程中的溯源工作，并能夠提高記錄準確率，降低勞動強度，提高生產效率。?

在詳細說明本實用新型的實施方式之后，熟悉該項技術人士可清楚地了解，在不脫離上述申請專利范圍與精神下可進行各種變化與修改，凡依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均屬于本發明技術方案的范圍，且本實用新型亦不受限于說明書中所舉實例的實施方式。?