[實用新型]片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120211163.6
• 申請日: 2011-06-20
• 公開（公告）號: CN202126446U
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發(fā)明（設計）人: 李子余;李琳
• 申請（專利權）人: 浙江嘉康電子股份有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 杭州天正專利事務所有限公司 33201
• 代理人: 孫家豐

1.一種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置，其特征是它包括電極板(1)、安裝板(2)和真空連接頭(3)，電極板為一塊環(huán)氧樹脂覆銅板，電極板的上表面有一對電極片(5)和一對引出電極(7)，電極片(5)的寬度與被測試的片式頻率器件芯片的電極的寬度相接近，兩電極片之間的間距與被測試的片式頻率器件芯片的電極之間的間距相接近，每個電極片的中部各有一個抽氣孔(6)，每個電極片各與一個引出電極(7)相連，安裝板的中心有一個通孔(4)，此通孔的下部與真空連接頭(3)密封相連，電極板固定在安裝板的上表面上，電極板上的抽氣孔(6)位于安裝板上的通孔的上方。

2.如權利要求1所述的片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置，其特征是它還包括基座(10)、吸氣管(12)，真空發(fā)生器(11)、兩根導線(8)和測試電路板(9)，所述的安裝板(2)固定在基座的上方，真空發(fā)生器固定在基座的一側(cè)，吸氣管的一端與真空連接頭(3)相接，吸氣管的另一端與真空發(fā)生器的進氣口相接，測試電路板固定在基座上，兩根導線的一端分別與所述的電極板(1)上的一個引出電極(7)相接，導線的另一端與測試電路板的輸入端相接。?