[實用新型]電阻蒸發鍍膜機的改進結構

無效

• 申請號: 201120200903.6
• 申請日: 2011-06-14
• 公開（公告）號: CN202090049U
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 胡永強;張婷
• 申請（專利權）人: 胡永強
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 杭州華鼎知識產權代理事務所(普通合伙) 33217
• 代理人: 施少鋒

技術領域

本實用新型涉及一種電阻蒸發鍍膜機。

背景技術

在真空中制備膜層，包括鍍制晶態的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面，稱為蒸發鍍膜。蒸發物質如金屬、化合物等置于坩堝內或掛在熱絲上作為蒸發源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物質蒸發。蒸發物質的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數百埃至數微米。膜厚決定于蒸發源的蒸發速率和時間(或決定于裝料量)，并與源和基片的距離有關。對于大面積鍍膜，常采用旋轉基片或多蒸發源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發源到基片的距離應小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程，以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學作用。蒸氣分子平均動能約為0.1～0.2電子伏。蒸發源有三種類型。①電阻加熱源：用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀，通以電流，加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發物質，電阻加熱源主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高頻感應加熱源：用高頻感應電流加熱坩堝和蒸發物質。③電子束加熱源：適用于蒸發溫度較高的材料，即用電子束轟擊材料使其蒸發。蒸發鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍制單質和不易熱分解的化合物膜，為沉積高純單晶膜層。

現有的電阻蒸發鍍膜機，包括有工件架底座，工件架底座上前后設有兩個工件架輪骨，工件架輪骨之間設有工件架掛件支架，工件架底座上設有蒸發電極桿支架，蒸發電極桿支架間連接有蒸發電極桿。采用上述結構的電阻蒸發鍍膜機存在如下不足：容易使工件烤焦，無法擋住污塵或污油氣，產品質量差。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供電阻蒸發鍍膜機的改進結構，可以有效地解決現有鍍膜機容易使工件烤焦，無法擋住污塵或污油氣，產品質量差的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：

電阻蒸發鍍膜機的改進結構，包括工件架底座，工件架底座上設有蒸發電極桿支架，蒸發電極桿支架間連接有蒸發電極桿，其特征在于：蒸發電極桿支架上轉動連接有上擋板。

優選的，蒸發電極桿支架上連接有擋板主桿，擋板主桿在蒸發電極桿支架上進行自轉，擋板主桿上固定連接有擋板支肋骨，擋板支肋骨固定連接上擋板，上擋板通過擋板支肋骨和擋板主桿轉動連接在蒸發電極桿支架上。

優選的，擋板主桿上分別設有上支撐桿和下支撐桿，蒸發電極桿支架端部分別設有與上支撐桿和下支撐桿對應的上限位桿和下限位桿，當擋板主桿轉動至上支撐桿抵住上限位桿時，上擋板蓋于蒸發電極桿支架上方；當擋板主桿轉動至下支撐桿抵住下限位桿時，上擋板脫離對蒸發電極桿支架的遮蓋。

優選的，蒸發電極桿支架上固定連接有下擋板，下擋板開口朝向上擋板。

本實用新型由于采用了上述技術方案，具有以下有益效果：上檔板是活動的，上檔板的可以使蒸發源在預熔時所產生的污油氣有效的給擋在上檔板上，還有所產生的熱量也擋在上檔板上，預熔期過后到有效蒸發時可打開上檔板。下檔板是固定的，可以隔離無效的溫度，因為使用鎢舟鍍銀或其他金屬時他們是往上蒸發的，向下直射的高溫就可以有效的被下檔板擋住，以免高溫而破壞工件架上的有效工件。下檔板也起到擋污油氣，真空室內會有微量的污塵或污油氣，下檔板可有效的隔離這些雜質。總體來說上下檔板的功效是隔離溫度，不讓高溫而使工件烤焦，還有擋污油氣，不使污油氣蒸發到工件上破壞工件的效果，提高產品的質量。本實用新型結構簡單、制造簡便、成本低，實用性強。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：

圖1為本實用新型電阻蒸發鍍膜機的改進結構中工件架底座(未畫出上擋板和下擋板)的結構示意圖；

圖2為圖1中的K向結構示意圖。

具體實施方式