[實(shí)用新型]一種制備薄膜試樣用磨樣裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120200522.8
• 申請(qǐng)日: 2011-06-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202133574U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙寶純;李桂艷;張之勝;隋曉紅;張鵬遠(yuǎn);孫樹華;楊靜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鞍鋼股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N1/28
• 分類號(hào): G01N1/28
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• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及試樣加工裝置，尤其涉及一種制備薄膜試樣用磨樣裝置。

背景技術(shù)

透射電鏡進(jìn)行析出物、位錯(cuò)密度等觀察需要將試樣加工成極薄試樣，首先需采用機(jī)械方法盡量減薄試樣，然后再用電解雙噴、離子減薄等方法進(jìn)行減薄試樣。

在機(jī)械減薄試樣的過(guò)程中，若采用線切割的方法，加工厚度在1毫米以下的較薄試樣，其加工難度較大、加工精度差。通常采用手工打磨或化學(xué)減薄等方法，采用手工打磨時(shí)，如果試樣所受應(yīng)力過(guò)大，會(huì)對(duì)試樣觀察效果產(chǎn)生較大影響，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的試驗(yàn)結(jié)論。現(xiàn)有的手工打磨技術(shù)是通過(guò)直接將試樣按壓在砂紙上進(jìn)行打磨或通過(guò)夾具夾持試樣在砂紙上打磨。通過(guò)直接按壓試樣方法存在兩種不足，一是由于試樣受力不均導(dǎo)致打磨厚度不均；二是由于砂紙與試樣之間的摩擦系數(shù)較大，導(dǎo)致壓試樣的力加大，且當(dāng)試樣磨制到幾十個(gè)微米時(shí)易破損，導(dǎo)致試樣報(bào)廢。專利“一種制作薄膜試樣的磨樣夾”(專利號(hào)：CN200920203487.8)提供一種制作薄膜試樣的磨樣夾，該磨樣夾是通過(guò)吸附在頂砧上的磁鐵固定試樣，使被磨試樣嵌在緊固外套內(nèi)，通過(guò)調(diào)整頂砧與外套間的位置使試樣露出，以達(dá)到磨削目的，但由于試樣很薄，這增大了調(diào)整的難度，并且通過(guò)磁力吸附試樣存在三個(gè)問(wèn)題：1)要求試樣具有較強(qiáng)的鐵磁性，對(duì)于一些非鋼鐵材料，夾具不適用；3)磁鐵的磁力過(guò)小，則試樣夾持不牢靠；2)磁鐵的磁力過(guò)大，會(huì)導(dǎo)致試樣的磁化，對(duì)透射電鏡觀察不利，嚴(yán)重時(shí)會(huì)對(duì)電鏡造成損害。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是通過(guò)提供一種制備薄膜試樣用磨樣裝置，該裝置易裝、卸試樣，使薄膜試樣的制備更可靠、高效，且對(duì)試樣的材質(zhì)不加限制。

本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：

一種制備薄膜試樣用磨樣裝置，包括安裝有真空閥的真空箱，真空箱上還安裝有至少1個(gè)連接頭，連接頭連接有軟管，軟管的另一端安裝有止氣閥，且軟管的該端部平直可以與吸盤無(wú)間隙配合，吸盤上具有若干個(gè)可吸附試樣的孔腔。

真空箱上安裝有氣壓表，用以測(cè)定真空箱內(nèi)的壓強(qiáng)值。

吸盤為具有一定強(qiáng)度且與試樣間具有較大的摩擦系數(shù)，其上的孔腔有若干個(gè)，可以是任意形狀，但其分布限于軟管的橫截面積內(nèi)；

通過(guò)真空閥將真空箱抽取真空，在外界大氣壓的作用下，吸盤和試樣可以較牢靠地吸附在軟管上；真空箱、氣壓表、真空閥、軟管、連接頭、吸盤、孔腔和試樣共同形成一個(gè)封閉的腔體。

本實(shí)用新型通過(guò)裝置內(nèi)、外的氣壓差將試樣吸附在摩擦系數(shù)較大的吸盤上，使兩者之間具有較大摩擦力，在進(jìn)行試樣磨削時(shí)不會(huì)產(chǎn)生相對(duì)滑動(dòng)現(xiàn)象，并且不需要用較大的力按壓試樣，試樣主要受切削力的作用，而不會(huì)因?yàn)槭軕?yīng)力過(guò)大導(dǎo)致試樣的損壞。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的總體結(jié)構(gòu)圖；

圖2為本實(shí)用新型孔腔在吸盤上的分布圖；

圖3為本實(shí)用新型另一種孔腔在吸盤上的分布圖；

其中，1真空箱、2氣壓表、3真空閥、4軟管、5止氣閥、6連接頭、7吸盤、8孔腔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步說(shuō)明：

如圖1所示：該裝置包括安裝有真空閥3的真空箱1，真空箱1上還安裝有1個(gè)連接頭6，連接頭6連接有軟管4，軟管4的另一端安裝有止氣閥5，且軟管4的該端部平直可以與吸盤7無(wú)間隙配合，吸盤7上具有若干個(gè)可吸附試樣9的孔腔8，真空箱1上安裝有氣壓表2。

真空箱1呈長(zhǎng)方體形狀，可以通過(guò)安裝于其上的真空閥3抽取真空，且在真空箱1上安裝有氣壓表2，用以測(cè)定其內(nèi)的壓強(qiáng)值。真空箱1上還安裝有連接頭6，連接頭6連接有軟管4，使真空箱1的腔體與軟管4相通，軟管4的另一端安裝有止氣閥5，且軟管4的端部平直可以與形狀為長(zhǎng)方體形狀的吸盤7無(wú)間隙配合，吸盤7上具有若干孔腔8，且孔腔8的分布均限于軟管4的橫截面積內(nèi)，吸盤7的另一端可與試樣9無(wú)間隙配合。