[實用新型]一種制備薄膜試樣用磨樣裝置

有效

• 申請號: 201120200522.8
• 申請日: 2011-06-14
• 公開（公告）號: CN202133574U
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: 趙寶純;李桂艷;張之勝;隋曉紅;張鵬遠;孫樹華;楊靜
• 申請（專利權）人: 鞍鋼股份有限公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及試樣加工裝置，尤其涉及一種制備薄膜試樣用磨樣裝置。

背景技術

透射電鏡進行析出物、位錯密度等觀察需要將試樣加工成極薄試樣，首先需采用機械方法盡量減薄試樣，然后再用電解雙噴、離子減薄等方法進行減薄試樣。

在機械減薄試樣的過程中，若采用線切割的方法，加工厚度在1毫米以下的較薄試樣，其加工難度較大、加工精度差。通常采用手工打磨或化學減薄等方法，采用手工打磨時，如果試樣所受應力過大，會對試樣觀察效果產生較大影響，嚴重時會導致錯誤的試驗結論。現有的手工打磨技術是通過直接將試樣按壓在砂紙上進行打磨或通過夾具夾持試樣在砂紙上打磨。通過直接按壓試樣方法存在兩種不足，一是由于試樣受力不均導致打磨厚度不均；二是由于砂紙與試樣之間的摩擦系數較大，導致壓試樣的力加大，且當試樣磨制到幾十個微米時易破損，導致試樣報廢。專利“一種制作薄膜試樣的磨樣夾”(專利號：CN200920203487.8)提供一種制作薄膜試樣的磨樣夾，該磨樣夾是通過吸附在頂砧上的磁鐵固定試樣，使被磨試樣嵌在緊固外套內，通過調整頂砧與外套間的位置使試樣露出，以達到磨削目的，但由于試樣很薄，這增大了調整的難度，并且通過磁力吸附試樣存在三個問題：1)要求試樣具有較強的鐵磁性，對于一些非鋼鐵材料，夾具不適用；3)磁鐵的磁力過小，則試樣夾持不牢靠；2)磁鐵的磁力過大，會導致試樣的磁化，對透射電鏡觀察不利，嚴重時會對電鏡造成損害。

實用新型內容

為了克服現有技術的缺點，本實用新型所要解決的技術問題是通過提供一種制備薄膜試樣用磨樣裝置，該裝置易裝、卸試樣，使薄膜試樣的制備更可靠、高效，且對試樣的材質不加限制。

本實用新型通過以下技術方案予以實現：

一種制備薄膜試樣用磨樣裝置，包括安裝有真空閥的真空箱，真空箱上還安裝有至少1個連接頭，連接頭連接有軟管，軟管的另一端安裝有止氣閥，且軟管的該端部平直可以與吸盤無間隙配合，吸盤上具有若干個可吸附試樣的孔腔。

真空箱上安裝有氣壓表，用以測定真空箱內的壓強值。

吸盤為具有一定強度且與試樣間具有較大的摩擦系數，其上的孔腔有若干個，可以是任意形狀，但其分布限于軟管的橫截面積內；

通過真空閥將真空箱抽取真空，在外界大氣壓的作用下，吸盤和試樣可以較牢靠地吸附在軟管上；真空箱、氣壓表、真空閥、軟管、連接頭、吸盤、孔腔和試樣共同形成一個封閉的腔體。

本實用新型通過裝置內、外的氣壓差將試樣吸附在摩擦系數較大的吸盤上，使兩者之間具有較大摩擦力，在進行試樣磨削時不會產生相對滑動現象，并且不需要用較大的力按壓試樣，試樣主要受切削力的作用，而不會因為受應力過大導致試樣的損壞。

附圖說明

圖1為本實用新型的總體結構圖；

圖2為本實用新型孔腔在吸盤上的分布圖；

圖3為本實用新型另一種孔腔在吸盤上的分布圖；

其中，1真空箱、2氣壓表、3真空閥、4軟管、5止氣閥、6連接頭、7吸盤、8孔腔。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步說明：

如圖1所示：該裝置包括安裝有真空閥3的真空箱1，真空箱1上還安裝有1個連接頭6，連接頭6連接有軟管4，軟管4的另一端安裝有止氣閥5，且軟管4的該端部平直可以與吸盤7無間隙配合，吸盤7上具有若干個可吸附試樣9的孔腔8，真空箱1上安裝有氣壓表2。

真空箱1呈長方體形狀，可以通過安裝于其上的真空閥3抽取真空，且在真空箱1上安裝有氣壓表2，用以測定其內的壓強值。真空箱1上還安裝有連接頭6，連接頭6連接有軟管4，使真空箱1的腔體與軟管4相通，軟管4的另一端安裝有止氣閥5，且軟管4的端部平直可以與形狀為長方體形狀的吸盤7無間隙配合，吸盤7上具有若干孔腔8，且孔腔8的分布均限于軟管4的橫截面積內，吸盤7的另一端可與試樣9無間隙配合。