[實用新型]泄液裝置

有效

• 申請號: 201120200051.0
• 申請日: 2011-06-14
• 公開（公告）號: CN202091711U
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 劉鐵柱
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: F16L55/07
• 分類號: F16L55/07
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種泄液裝置。

背景技術

在半導體車間內安裝有大量的排風管，這些排風管可以抽走機臺生產過程產生的廢氣，以保證半導體車間內的空氣質量達標。由于抽走的氣體帶有水分，所以，在排風管的末端連接已排液管。該排液管靠傾斜角使液體自然流動排出。

然而，現有的排風管和排液管的連接方式具有如下缺陷：

一方面，排風管為了排放廢氣，其內部需要處于負壓狀態下。而所述排液管是非密封管，因此為了保證排風管的負壓狀態，風機要消耗很多的額外能量才能保證排風管的負壓值達到標準。

另一方面，在排風管為負壓作用下，排液管內的腐蝕氣態物質，也容易被吸入排風管，以致于加快排風管的腐蝕和老化。

因此，如何提供一種可以節能且減少排液管的廢氣回流的泄液裝置是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種泄液裝置，不但可以節能，而且可以減少排液管的廢氣回流。

為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種泄液裝置，用于連接排風管和排液管，包括套管、活動擋板和擋板護欄，所述排風管的部分管段穿設于所述套管內部，所述擋板護欄固設于所述套管內部，所述擋板護欄和所述排風管具有一間隔空間，所述活動擋板位于所述排風管和擋板護欄之間的間隔空間內，所述活動擋板的面積大于排風管的出風口面積且小于套管的出風口面積。

在上述的泄液裝置中，所述活動擋板包括圓形板和若干支撐凸板，所述若干支撐凸板設置于所述圓形板的周向邊緣，所述圓形板的直徑大于所述排風管的直徑。氣體可以從活動擋板的邊緣空隙流動，即支撐凸板之間的空隙流動，從而保證活動擋板準確、牢靠地吸在所述排風管的出風口。

在上述的泄液裝置中，所述支撐凸板均勻布設于所述圓形板的周向邊緣，使得氣體在活動擋板的周向均勻流動，從而保證活動擋板更加平穩、準確地吸在所述排風管的出風口。

在上述的泄液裝置中，所述擋板護欄包括圍圈和若干擋桿，所述若干擋桿間隔設置于所述圍圈內。當活動擋板離開排風管壓在擋板護欄上時，排風管的液體可以從活動擋板的周邊間隙和擋板護欄內的間隙流入排液管。

在上述的泄液裝置中，所述排風管與擋板護攔的距離小于所述活動擋板的外徑，以防止活動擋板傾斜。

在上述的泄液裝置中，所述排風管上設有進液閥門。在上述的泄液裝置中，所述排液管上設有出液閥門。在對泄液裝置進行更換、維護時，可將進液閥門和出液閥門關閉，以防止排風管的液體泄露和排液管出現反味。

在上述的泄液裝置中，所述套管遠離所述排風管的一端與所述排液管連接。

本實用新型的有益效果如下：

本實用新型泄液裝置，將活動擋板設置于所述排風管和擋板護欄之間的間隔空間內，當排風管內無液體流出時，排風管內的負壓氣體將活動擋板吸在排風管的出風口，由于所述活動擋板的面積大于排風管的出風口面積且小于套管的出風口面積，因此，當活動擋板吸在排風管的出風口時，活動擋板可以覆蓋所述排風管的出風口面積，從而將排風管封閉，即起到將排風管和套管及排液管隔離的作用。如此，一方面，排液管內的氣體不能流入到排風管內，從而不會影響排風管的負壓狀態，因此，不需要額外的能量維護排風管內的負壓處于正常狀態，從而有效節約了能源。另一方面，活動擋板封閉所述排風管的出風口也可以防止排液管內的腐蝕性氣體回流到排風管內，進而避免這些腐蝕性氣體腐蝕排風管，延長了排風管的使用壽命。而排風管內有液體產生時，一旦液體的累積使得液體的重力大于排風管的氣體對活動擋板的吸力時，活動擋板被上述液體壓至擋板護攔上，上述液體便可以從活動擋板邊緣的空隙和擋板護欄內的間隙流至排液管進行排放。當液體排完后，排風管的負壓吸力會重新將活動擋板吸在所述排風管的出風口。如此，形成循環。

由此可見，本實用新型相對現有的排風管和排液管直接相連的方式，不但可以實現排液的功能，而且可以在很大程度上防止排液管內的氣體流入排風管內，確保排風管的負壓正常和保證排風管不受腐蝕性氣體侵蝕。

附圖說明

本實用新型的泄液裝置由以下的實施例及附圖給出。

圖1為本實用新型的泄液裝置結構的實施例的示意圖；

圖2為活動擋板的結構示意圖；

圖3為擋板護欄的結構示意圖。

具體實施方式

以下將對本實用新型的泄液裝置作進一步的詳細描述。