[實用新型]復合襯底結構

無效

• 申請號: 201120195246.0
• 申請日: 2011-06-10
• 公開（公告）號: CN202120974U
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發明（設計）人: 梁秉文
• 申請（專利權）人: 光達光電設備科技（嘉興）有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種復合襯底結構，其特征在于，包括由下至上依次設置的第一襯底層、不透明夾層以及第二襯底層；

所述不透明夾層與第一襯底層和第二襯底層結合為一體，且所述第一襯底層和第二襯底層的熱膨脹系數相同；當所述第一襯底層被置于一加熱元件上時，所述不透明夾層用于吸收該加熱元件發出的熱輻射，利用吸收的熱量加熱第一襯底層的內側面和第二襯底層的內側面，所述不透明夾層對所述第二襯底內側面的加熱能夠使得所述第二襯底層的外側面的溫度滿足外延材料的生長溫度。

2.根據權利要求1所述的復合襯底結構，其特征在于，所述第一襯底層、不透明夾層和第二襯底層依次或同時結合為一體。

3.根據權利要求1所述的復合襯底結構，其特征在于，所述外延材料的材質為GaN。

4.根據權利要求1或2所述的復合襯底結構，其特征在于，所述第一襯底層或/和第二襯底層的直徑范圍為2英寸，厚度范圍為20～190μm；或所述第一襯底層或/和第二襯底層的襯底直徑為4英寸，厚度范圍為20～260μm；或所述第一襯底層或/和第二襯底層的襯底直徑為6英寸，厚度范圍為20～460μm。

5.根據權利要求1所述的復合襯底結構，其特征在于，所述復合襯底結構的直徑為2英寸，厚度范圍為70～460μm；或，所述復合襯底結構直徑為4英寸，厚度范圍為110～660μm；或，所述復合襯底結構的直徑為6英寸，厚度范圍為190～1010μm。

6.根據權利要求1或2的復合襯底結構，其特征在于，所述不透明夾層的材質為石墨；?

所述復合襯底結構的直徑為2英寸，厚度范圍為80～450μm，所述第一襯底層或/和第二襯底層的厚度范圍為30～180μm；所述復合襯底結構的直徑為4英寸，厚度范圍為120～650μm，所述第一襯底層或/和第二襯底層的厚度范圍為30～250μm；或所述復合襯底結構的直徑為6英寸，所述第一襯底層或/和第二襯底的厚度范圍為30～450μm。

7.根據權利要求1或2所述的復合襯底結構，其特征在于，

所述不透明夾層的材質為硅；

所述復合襯底結構的直徑為2英寸，厚度范圍為80～450μm，所述第一襯底層或/和第二襯底層的厚度范圍為30～180μm；所述復合襯底結構的直徑為4英寸，厚度范圍為120～650μm，所述第一襯底層或/和第二襯底層的厚度范圍為30～250μm；或所述復合襯底結構的直徑為6英寸，所述第一襯底層或/和第二襯底的厚度范圍為30～450μm；

在所述外延材料形成后，所述不透明夾層和第二襯底層利用選擇性腐蝕溶液與所述第一襯底層分離。?