[實用新型]化學機械研磨設備有效
| 申請號： | 201120189723.2 | 申請日： | 2011-06-07 |
| 公開（公告）號： | CN202088086U | 公開（公告）日： | 2011-12-28 |
| 發明（設計）人： | 唐強;李佩 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械 研磨 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種化學機械研磨設備，包括研磨頭和位于研磨頭上方的研磨頭帶動裝置，其特征在于，所述研磨頭上方固定設置第一磁體，所述研磨頭帶動裝置設置第二磁體，所述第一磁體與所述第二磁體位置相對且磁性相反。
2.如權利要求1所述的化學機械研磨設備，其特征在于，所述第一磁體的形狀為圓柱形，所述第二磁體的形狀為圓環形，所述第二磁體的內徑大于所述第一磁體的直徑。
3.如權利要求1所述的化學機械研磨設備，其特征在于，所述第一磁體與所述第二磁體的形狀均為平板形，所述第一磁體與所述第二磁體正對。
4.如權利要求1所述的化學機械研磨設備，其特征在于，所述第一磁體為永磁體，所述第二磁體為電磁體，所述電磁體在通電后所帶磁性與所述永磁體的磁性相反。
5.如權利要求1所述的化學機械研磨設備，其特征在于，所述第一磁體與第二磁體均為電磁體，通電后所述第一磁體與所述第二磁體的磁性相反。
6.如權利要求4或5所述的化學機械研磨設備，其特征在于，所述電磁體包括鐵芯和圍繞所述鐵芯的線圈，所述線圈由外部電源供電。
7.如權利要求1至5中任意一項所述的化學機械研磨設備，其特征在于，所述研磨頭帶動裝置還包括外罩，設置于所述外罩中的轉動馬達、轉動桿和帶動平臺，所述轉動馬達通過轉動桿與帶動平臺固定連接，所述第二磁體設置于所述帶動平臺下。?
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