[實用新型]一種新型水冷擋板結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201120187574.6 | 申請日: | 2011-06-03 |
| 公開(公告)號: | CN202116639U | 公開(公告)日: | 2012-01-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 董湧法;陳平;劉輝 | 申請(專利權(quán))人: | 上海涌真機(jī)械有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/00 | 分類號: | C23C14/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201700 上海市青浦區(qū)*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 新型 水冷 擋板 結(jié)構(gòu) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及真空技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種新型水冷擋板結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,對真空系統(tǒng)的要求越來越高,真空系統(tǒng)需要潔凈環(huán)境,更高的抽速。
而傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的水冷擋板在真空系統(tǒng)中冷卻效果不佳,對抽速影響大;使用一段時間后污染物不易清潔,容易引起二次污染。
實用新型內(nèi)容
本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、安裝維修方便、設(shè)計合理、便于清潔的新型水冷擋板結(jié)構(gòu)。
為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用如下技術(shù)方案:
一種新型水冷擋板結(jié)構(gòu),其特征在于:包括
一上法蘭;
一下法蘭;
一水冷擋板;
一排污清潔口;
兩個雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體,其中
所述上法蘭、下法蘭之間設(shè)置雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A和雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B,所述雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B設(shè)有水冷擋板,所述上法蘭近雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B一端設(shè)有進(jìn)水口,所述下法蘭近雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B一端設(shè)有出水口,所述雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A設(shè)有排污清潔口。
所述由上法蘭、下法蘭、兩個雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體、水冷擋板構(gòu)成的新型水冷擋板結(jié)構(gòu)外部形狀為圓形或正方形或長方形。
所述雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A和雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B可以是帶流體冷卻或不帶流體冷卻的。
所述排污清潔口的結(jié)構(gòu)不限,同時可以安裝或不安裝。
本實用新型通過雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A和水冷擋板構(gòu)成了V型的氣流通道,該結(jié)構(gòu)有效的對氣流和蒸汽進(jìn)行冷卻同時不影響真空抽速;在使用結(jié)束后,可以利用排污清潔口對冷卻堆積物進(jìn)行清潔。
由于雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A和雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B之間設(shè)有導(dǎo)流腔,因此由進(jìn)水口進(jìn)入的水不僅能通過雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B,也能通過導(dǎo)流腔將水引入雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A,由進(jìn)水口進(jìn)入的水在流經(jīng)雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A和雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B之后通過出水口流出。
本實用新型的有益效果是:
1、結(jié)構(gòu)簡單、安裝維修方便、設(shè)計合理抽速大、便于清潔有效解決二次污染。
2、本實用新型能滿足不同介質(zhì)的冷卻需要,不僅僅限于水,還包括其他流體、半流體、氣體。
附圖說明
圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解,下面結(jié)合具體圖示,進(jìn)一步闡述本實用新型。
如圖1所示,一種新型水冷擋板結(jié)構(gòu),其包括:上法蘭1、下法蘭2,水冷擋板3,排污清潔口4、兩個雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體,其中所述上法蘭1、下法蘭2之間設(shè)置雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A5和雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B6,所述雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B6設(shè)有水冷擋板3,所述上法蘭1近雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B6一端設(shè)有進(jìn)水口10,所述下法蘭2近雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B6一端設(shè)有出水口20,所述雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A5設(shè)有排污清潔口4。
所述由上法蘭、下法蘭、兩個雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體、水冷擋板構(gòu)成的新型水冷擋板結(jié)構(gòu)外部形狀為圓形或正方形或長方形(圖中未示)。
所述雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A和雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B可以是帶流體冷卻或不帶流體冷卻的。
所述排污清潔口的結(jié)構(gòu)不限,同時可以安裝或不安裝。本實施例安裝有排污清潔口4。
由于雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A5和雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B6之間設(shè)有導(dǎo)流腔8和導(dǎo)流腔9,因此由進(jìn)水口10進(jìn)入的水不僅能通過雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B6,也能通過導(dǎo)流腔8將水引入雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A5,再通過導(dǎo)流腔9將水送至出水口,由進(jìn)水口進(jìn)入的水在流經(jīng)雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A和雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B之后通過出水口流出。
本實用新型通過雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A5和水冷擋板3構(gòu)成了V型的氣流通道7,該結(jié)構(gòu)有效的對氣流和蒸汽進(jìn)行冷卻同時不影響真空抽速;當(dāng)蒸汽或者氣流從左側(cè)進(jìn)入本實用新型之后,通過從進(jìn)水口10進(jìn)入的水流經(jīng)雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體A5和雙層水冷壁結(jié)構(gòu)V型腔體B6,對進(jìn)入的待冷卻介質(zhì)進(jìn)行冷卻作業(yè),在工作結(jié)束后,可以利用排污清潔口4對冷卻堆積物進(jìn)行清潔。
本新型水冷擋板結(jié)構(gòu)已成功得應(yīng)用于真空鍍膜機(jī)的抽氣口,在抽氣口上有效得避免了返油現(xiàn)象的問題,同時由于方便清潔避免二次污染;在分子泵的前級抽氣口的應(yīng)用有效避免了顆粒對葉片的損傷。
以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
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- 專利分類
C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
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