[實用新型]石英玻璃坩堝的電極結構

無效

• 申請號: 201120184557.7
• 申請日: 2011-06-02
• 公開（公告）號: CN202116423U
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發明（設計）人: 潘紹勤;林方友;黃萬全;董建安;劉奏波;上官春水;陳少永;余獻軍;陳官元
• 申請（專利權）人: 江西安邁科技有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115
• 代理人: 李炳生

技術領域

本實用新型涉及電極結構，具體為石英玻璃坩堝的電極結構。

背景技術

根據旋轉模具法生產石英玻璃坩堝的工藝是這樣的：存放在旋轉模具內的石英砂粉末通過電弧放電加熱和熔化，生產出石英玻璃坩堝，坩堝內側為透明石英玻璃層，外側為不透明層，對于傳統的形成電弧放電的電極結構，設置有三個電極，三相交流電流過所述三個電極，在電極之間形成等離子電弧放電。

目前，硅單晶生產中對石英坩堝直徑的要求越來越大，而這種傳電極結構的缺點暴露的也更加明顯：當電極之間的距離增加以便擴大加熱范圍時，電弧變得不穩定而中斷，尤其是，對于大尺寸坩堝，由于模具轉動在坩堝內造成氣流的影響較大，所以傳統的電極結構的電弧很容易中斷。

實用新型內容

本實用新型所解決的技術問題在于提供石英玻璃坩堝的電極結構，使其即使在電極之間距離增加的情況下也可以保持電弧的穩定，從而解決上述背景技術中的缺點。

本實用新型所解決的技術問題采用以下技術方案來實現：

石英玻璃坩堝的電極結構，包括旋轉模具和安裝在旋轉模具上方的若干電極，與傳統電極結構的顯著區別特征在于，所述電極間隔排列在以旋轉模具旋轉軸線為中心的環狀結構上，各相鄰電極之間的間距均相等。

本實用新型中，所述環狀結構的圓半徑r與所述旋轉模具的開口半徑R之比為2/5-4/5。

本實用新型中，所述電極至少為四個。

本實用新型，所述電極可具有二相交流電的四個電極、三相交流電的六個電極、三相交流電的九個電極或四相交流電的八個電極。

有益效果

本實用新型結構簡單，電極之間可以形成環狀電弧，電弧穩定且具有很大加熱范圍，即使在生產大口徑坩堝、電極之間的距離較大的情況下，電弧的穩定性同樣良好。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的示意圖。

圖2為本實用新型實施例的電極分布示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

參見圖1、圖2，石英玻璃坩堝的電極結構，包括旋轉模具1和安裝在旋轉模具1上方的若干電極2，本實施例中電極2具有兩相交流電的四個電極，與傳統電極結構的顯著區別特征在于，所述電極2間隔排列在以旋轉模具1旋轉軸線為中心的環狀結構上，各相鄰電極2之間的間距均相等。

作為一種優選方案，本實施例中，所述環狀結構的圓半徑r與所述旋轉模具的開口半徑R之比為2/3。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。