[實用新型]多晶硅生產(chǎn)廢料全回收系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120184272.3
• 申請日: 2011-06-02
• 公開（公告）號: CN202116321U
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁幫立;唐安東;柯細勇
• 申請（專利權(quán)）人: 唐安東;柯細勇
• 主分類號: C01B33/021
• 分類號: C01B33/021;C01B33/107;C01F7/56;C01G49/10;C01G3/05;C08J11/08
• 代理公司: 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 趙郁軍

1.一種多晶硅生產(chǎn)廢料全回收系統(tǒng)，其特征在于：它包括廢料罐、SiCl₄及氯硅烷高聚物回收單元、硅粉回收單元、金屬氯化物回收單元，其中：

多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢料從該廢料罐的輸入口輸入，該廢料罐的輸出口連接該SiCl₄及氯硅烷高聚物回收單元的廢料輸入口，該SiCl₄及氯硅烷高聚物回收單元的底料輸出口連接萃取劑與雜質(zhì)分離單元的輸入口，該萃取劑與雜質(zhì)分離單元的雜質(zhì)輸出口連接該硅粉回收單元的雜質(zhì)輸入口，該萃取劑與雜質(zhì)分離單元的萃取劑輸出口連接萃取劑回流單元的輸入口，該萃取劑回流單元的輸出口分別連接該SiCl₄及氯硅烷高聚物回收單元的萃取劑輸入口、該金屬氯化物回收單元的含金屬氯化物的萃取劑輸入口，該硅粉回收單元的含金屬氯化物的洗滌劑輸出口連接該金屬氯化物回收單元的含金屬氯化物的洗滌劑輸入口，洗滌劑罐的輸出口分別連接該硅粉回收單元、該金屬氯化物回收單元的洗滌劑輸入口，該金屬氯化物回收單元的洗滌劑輸出口、還原的萃取劑輸出口分別連接該洗滌劑罐、萃取劑回收罐的輸入口，該萃取劑回收罐、萃取劑罐的輸出口連接該SiCl₄及氯硅烷高聚物回收單元的萃取劑輸入口。

2.如權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)廢料全回收系統(tǒng)，其特征在于：

所述SiCl₄及氯硅烷高聚物回收單元包括萃取蒸餾塔釜；該萃取蒸餾塔釜的廢料輸入口連接所述廢料罐的輸出口；該萃取蒸餾塔釜的萃取劑輸入口連接所述萃取劑罐、所述萃取劑回收罐、所述萃取劑回流單元的輸出口；該萃取蒸餾塔釜底部的底料輸出口連接所述萃取劑與雜質(zhì)分離單元的輸入口；位于該萃取蒸餾塔釜頂部的SiCl₄輸出口經(jīng)由一個開關(guān)閥、一個冷凝器連接一個回流罐的輸入口，該回流罐的回流輸出口連接該萃取蒸餾塔釜頂部的SiCl₄回流口，該回流罐的產(chǎn)品輸出口連接SiCl₄產(chǎn)品輸出罐的輸入口；位于該萃取蒸餾塔釜頂部的高聚物輸出口經(jīng)由一個開關(guān)閥、一個冷凝器連接一個回流罐的輸入口，該回流罐的回流輸出口連接該萃取蒸餾塔釜頂部的高聚物回流口，該回流罐的產(chǎn)品輸出口連接高聚物產(chǎn)品輸出罐的輸入口。

3.如權(quán)利要求2所述的多晶硅生產(chǎn)廢料全回收系統(tǒng)，其特征在于：

所述萃取劑與雜質(zhì)分離單元包括塔底料罐，所述萃取劑回流單元包括萃取劑回流罐，所述萃取蒸餾塔釜的底料輸出口連接該塔底料罐的輸入口，該塔底料罐的輸出口連接一個過濾器的輸入口，該過濾器的萃取劑輸出口連接該萃取劑回流罐的輸入口，該萃取劑回流罐的輸出口連接所述萃取蒸餾塔釜的萃取劑輸入口和所述金屬氯化物回收單元的含金屬氯化物的萃取劑輸入口，該過濾器的雜質(zhì)輸出口連接所述硅粉回收單元的雜質(zhì)輸入口。

4.如權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)廢料全回收系統(tǒng)，其特征在于：

所述硅粉回收單元包括硅粉洗滌罐，該硅粉洗滌罐的雜質(zhì)輸入口、洗滌劑輸入口分別連接所述萃取劑與雜質(zhì)分離單元的雜質(zhì)輸出口、所述洗滌劑罐的輸出口，該硅粉洗滌罐的輸出口連接硅粉過濾器的輸入口，該硅粉過濾器的液相輸出口連接含金屬氯化物的洗滌劑罐的輸入口，該含金屬氯化物的洗滌劑罐的輸出口分兩路，一路經(jīng)由一個回流開關(guān)閥連接該硅粉洗滌罐的洗滌劑輸入口，另一路經(jīng)由一個輸送開關(guān)閥連接所述金屬氯化物回收單元的含金屬氯化物的洗滌劑輸入口，該硅粉過濾器的固相輸出口經(jīng)由干燥器連接硅粉產(chǎn)品輸出罐的輸入口。

5.如權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)廢料全回收系統(tǒng)，其特征在于：

所述金屬氯化物回收單元包括萃取劑洗滌罐，該萃取劑洗滌罐的洗滌劑輸入口、含金屬氯化物的萃取劑輸入口分別連接所述洗滌劑罐的輸出口、所述萃取劑回流單元的輸出口，該萃取劑洗滌罐的輸出口連接分離器的輸入口，該分離器的上層輸出口、下層輸出口分別連接濃縮蒸發(fā)器的輸入口、脫除金屬氯化物的萃取劑罐的輸入口，該脫除金屬氯化物的萃取劑罐的輸出口連接蒸發(fā)器的輸入口，該蒸發(fā)器的洗滌劑輸出口、萃取劑輸出口分別連接一個冷凝器的輸入口、所述萃取劑回收罐的輸入口，該濃縮蒸發(fā)器的輸入口連接所述硅粉回收單元的含金屬氯化物的洗滌劑輸出口，該濃縮蒸發(fā)器的洗滌劑輸出口、金屬氯化物輸出口分別連接該冷凝器的輸入口、結(jié)晶器的輸入口，該結(jié)晶器的洗滌劑輸出口、金屬氯化物輸出口分別連接該冷凝器的輸入口、金屬氯化物產(chǎn)品輸出罐的輸入口，該冷凝器的輸出口連接所述洗滌劑罐的輸入口。