[實用新型]用于渦輪分子泵的固定葉片

有效

• 申請號: 201120181756.2
• 申請日: 2011-05-31
• 公開（公告）號: CN202091252U
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 小林宏之
• 申請（專利權）人: 埃慕迪磁電科技(上海)有限公司
• 主分類號: F04D29/38
• 分類號: F04D29/38;F04D19/04
• 代理公司: 上海京滬專利代理事務所(普通合伙) 31235
• 代理人: 周志宏

技術領域：

本實用新型涉及一種非變容式泵，尤其是涉及一種用于渦輪分子泵的固定葉片。

背景技術：

現有技術中，在太陽能、半導體等生產設備中常使用渦輪分子泵排氣獲得真空，例如，在所給的設備腔體中加工處理半導體基板工序時，大多數工序中產生的是腐蝕性氣體，就需要能連續排氣的渦輪分子泵。渦輪分子泵的旋轉速度非常高，通常達數萬轉，旋轉的渦輪葉片與固定葉片之間，將氣體分子撞擊進行排氣。為了提高排氣效率，根據流體力學的原理，人們都在開發各種各樣的葉片。渦輪分子泵具有非常優異的特性，但是價格卻非常貴。在高速旋轉時，耐沖擊比較差，而且共振現象難以衰減。目前存在的問題是：固定加工時，一般是以切削加工為主，并用銑刀對每列葉片進行加工。有時也用電脈沖等加工。為要提高排氣效率，則須將每片葉片加工成又薄又變長。由于加工時會發生震動，很難提高加工效率，因此加工成本非常高。從渦輪分子泵的排氣原理來看，渦輪分子泵的旋轉速度要與分子的運動速度相同，而旋轉葉片的端部與根部的線速度是不相同。因此，需對葉片的角度進行修正，必須根部的角度大，端部的角度小。

實用新型內容：

本實用新型的目的是針對現有技術不足之處而提供一種固定葉片端部與根部線速度相同的、避免產生共振現象的用于渦輪分子泵的固定葉片。

本實用新型的目的是通過以下措施來實現：一種用于渦輪分子泵的固定葉片，其特征在于，它包括內環、外環、及多個均布的固定葉片；所述固定葉片呈直角梯形狀，直角梯形的大底根部、小底根部分別與內環、外環連接為一體，所述固定葉片與內、外環平面的傾斜角向外徑方向連續逐漸變小。

所述傾斜角向外徑方向連續逐漸變小為直角梯形的大底部傾斜角為40度，直角梯形的小底部傾斜角為30度。

所述由內環、外環及多個均布的固定葉片由直徑處分割為兩半。

與現有技術相比，采用了本實用新型提出的用于渦輪分子泵的固定葉片，具有如下優點：1)固定葉片與內、外環連接，剛性提高，不易發生共振；2)固定葉片的傾斜角向外徑方向連續逐漸變小，符合渦輪分子泵排氣原理，排氣效率大大提高；3)固定葉片可采用沖壓加工完成，無需切削加式，生產成本大幅度降低，生產效率大幅度上升，且原材料浪費減少。

附圖說明：

圖1是本實用新型提出的一個實施例結構示意圖。

具體實施方式：

下面結合附圖對具體實施方式作詳細說明：在圖1所示本實用新型的一個實施例。圖中，一種用于渦輪分子泵的固定葉片，它包括：內環1、外環2、及多個均布的固定葉片3。本實施例由直徑處分割為兩半。分為兩半的結構便于安裝。所述固定葉片呈直角梯形狀，直角梯形的大底根部31、小底根部32分別與內環1、外環2連接為一體，所述固定葉片與內、外環平面的傾斜角向外徑方向連續逐漸變小。所述傾斜角向外徑方向連續逐漸變小為直角梯形的大底部傾斜角為40度，直角梯形的小底部傾斜角為30度。

上面結合附圖描述了本實用新型的實施方式，實施例給出的結構并不構成對本實用新型的限制，本領域內熟練的技術人員在所附權利要求的范圍內做出各種變形或修改均在保護范圍內。