[實用新型]二極管硅片上色裝置無效
| 申請號: | 201120180234.0 | 申請日: | 2011-05-31 |
| 公開(公告)號: | CN202094098U | 公開(公告)日: | 2011-12-28 |
| 發明(設計)人: | 徐謙;莊娟梅;王海燕 | 申請(專利權)人: | 常州佳訊光電產業發展有限公司;常州久和電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/329 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人: | 何學成 |
| 地址: | 213181 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 二極管 硅片 上色 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種上色裝置,特別是一種給二極管硅片表面上色的二極管硅片上色裝置。?
背景技術
現有的二極管硅片表面上色一般是操作工手持墨盒手動來完成的,這種上色方式效率低、上色不均勻,在上色過程中會造成墨的浪費,而且會污染環境。?
實用新型內容
發明目的?
本實用新型的目的在于針對背景技術中所述的現有的二極管硅片表面上色中存在的問題,提供一種能夠解決前述問題的二極管硅片上色裝置。?
實現本實用新型的發明目的的技術方案如下:?
一種二極管硅片上色裝置,其包括轉盤、轉盤驅動裝置、硅片真空吸盤以及墨盒,硅片真空吸盤設置于轉盤上,硅片真空吸盤上設置有通孔,轉盤中設置有空腔,硅片真空吸盤上的通孔與該空腔貫通,空腔的氣閥接口連接吸氣裝置,所述的墨盒設置于硅片真空吸盤的上方,其下表面設置有用于對二極管硅片上色的海綿。?
所述的吸氣裝置包括真空吸泵、氣管、氣閥以及腳踏氣門開關,腳踏氣門開關一端通過氣管連接空腔的氣閥接口,腳踏氣門開關的另一端通過氣管連接氣閥,氣閥與真空吸泵通過氣管連接。?
所述的轉盤驅動裝置包括直流并激電動機、直流電機調速器和渦輪減速機,直流電機調速器與直流并激電動機連接,直流并激電動機與渦輪減速機通過齒輪連接,渦輪減速機的輸出端通過鏈條連接設置于轉盤下部的鏈輪。?
所述的墨盒側面設置有墨盒手柄。?
本實用新型的有益效果為因為本實用新型的二極管硅片上色裝置將硅片真空吸盤固定于轉盤上,轉盤內設置空腔,硅片真空吸盤上設置有通孔,該通孔與轉盤內的空腔貫通,空腔的氣閥接口連接吸氣裝置,在使用時,將二極管硅片放置于硅片真空吸盤上,然后通過吸氣裝置吸氣,使空腔內形成負壓,將硅片吸引固定于硅片真空吸盤上,然后轉動吸盤,將墨盒調整到合適的高度,墨盒下表面的海綿與二極管硅片表面接觸,將墨均勻涂抹到二極管硅片表面上。通過以上設置,能夠提高二極管硅片表面上色的效率,而且上色均勻,節約墨,不會造成工作環境的污染。?
附圖說明
圖1為本實用新型的示意圖;?
圖2為本實用新型的轉盤和硅片真空吸盤的俯視圖;?
圖中,1為轉盤,2為硅片真空吸盤,3為墨盒,4為通孔,5為空腔,6為氣閥接口,7為墨盒手柄,8為海綿,9為真空吸泵,10為氣管,11為氣閥,12為腳踏氣門開關,13為直流并激電動機,14為直流電機調速器,15為渦輪減速機。?
具體實施方式
參照圖1和圖2所示的一種二極管硅片上色裝置,其包括轉盤1、轉盤驅動裝置、硅片真空吸盤2以及墨盒3,硅片真空吸盤2設置于轉盤1上,硅片真空吸盤2上設置有通孔4,轉盤1中設置有空腔5,硅片真空吸盤2上的通孔4與該空腔5貫通,空腔5的氣閥11接口6連接吸氣裝置,所述的墨盒3設置于硅片真空吸盤2的上方,其下表面設置有用于對二極管硅片上色的海綿8。?
作為本實用新型的進一步改進:所述的吸氣裝置包括真空吸泵9、氣管10、氣閥11以及腳踏氣門開關12,腳踏氣門開關12一端通過氣管10連接空腔5的氣閥11接口6,腳踏氣門開關12的另一端通過氣管10連接氣閥11,氣閥11與真空吸泵9通過氣管10連接;所述的轉盤驅動裝置包括直流并激電動機13、直流電機調速器14和渦輪減速機14,直流電機調速器14與直流并激電動機13連接,直流并激電動機13與渦輪減速機14通過齒輪連接,渦輪減速機14的輸出端通過鏈條連接設置于轉盤1下部的鏈輪;所述的墨盒3側面設置有墨盒手柄7。?
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





