[實(shí)用新型]多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120177392.0 | 申請(qǐng)日: | 2011-05-30 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN202072480U | 公開(kāi)(公告)日: | 2011-12-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王嶺;劉小鋒;劉暢;周祥順 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào): | C01B33/03 | 分類號(hào): | C01B33/03 |
| 代理公司: | 四川力久律師事務(wù)所 51221 | 代理人: | 曹晉玲;林輝輪 |
| 地址: | 614000*** | 國(guó)省代碼: | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 多晶 生產(chǎn) 回收 氫氣 精脫氯 設(shè)備 | ||
1.多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,包括脫氯裝置和終端凈化裝置;
所述脫氯裝置上設(shè)置有進(jìn)氣口和出氣口,脫氯裝置內(nèi)填充有脫氯劑,所述脫氯裝置通過(guò)進(jìn)氣口的管道與活性炭吸附塔相連;
所述終端凈化裝置上設(shè)置有入口與出口,終端凈化裝置內(nèi)填充有活性炭,終端凈化裝置通過(guò)入口的管道與脫氯裝置的出氣口相連;
所述終端凈化裝置的容積為活性炭吸附塔容積的1/50~1/10。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述脫氯裝置的進(jìn)氣口和出氣口處分別設(shè)置有閥門(mén),所述終端凈化裝置的入口和出口處分別設(shè)置有閥門(mén)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述脫氯裝置的進(jìn)氣口和出氣口,以及終端凈化裝置的入口和出口分別設(shè)置有過(guò)濾器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述過(guò)濾器為400-600目的過(guò)濾器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述脫氯裝置為兩個(gè)或兩個(gè)以上的并聯(lián)裝置,所述終端凈化裝置為兩個(gè)或兩個(gè)以上的并聯(lián)裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述終端凈化裝置設(shè)置有冷熱流體入口、冷熱流體出口;所述終端凈化裝置在入口管道處分流出一個(gè)分管道,所述分管道上設(shè)置有再生氣出口;所述終端凈化裝置在出口管道處分流出一個(gè)分管道,所述分管道上設(shè)置有再生氣入口;所述冷熱流體入口,冷熱流體出口,再生氣出口和再生氣入口上分別設(shè)置有閥門(mén)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述脫氯裝置的脫氯劑為球形顆粒或環(huán)狀顆粒。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述脫氯裝置的脫氯劑為球形顆粒,所述球形顆粒直徑為1-20㎜。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述球形顆粒直徑為3-10㎜。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述脫氯裝置的脫氯劑為環(huán)狀顆粒,所述環(huán)狀顆粒的外直徑為1-40㎜。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述脫氯裝置的脫氯劑的耐壓強(qiáng)度為大于0.7Mpa。
12.?根據(jù)權(quán)利要求11所述的多晶硅生產(chǎn)回收氫氣的精脫氯設(shè)備,其特征在于,所述脫氯裝置的脫氯劑的耐壓強(qiáng)度為1.2~2.0Mpa。
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