[實用新型]一種擴散爐

有效

• 申請號: 201120173396.1
• 申請日: 2011-05-27
• 公開（公告）號: CN202092463U
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 譚宏勝;呂文強;杜可棟;趙鳳
• 申請（專利權）人: 合肥高歌熱處理應用技術有限公司
• 主分類號: F27B17/02
• 分類號: F27B17/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于實驗窯爐，具體是用于稀有金屬粉體的煅燒、半導體材料的擴散和氧化以及光伏行業氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅的渡膜工藝。

背景技術

擴散爐系列設備主要適用于稀有金屬粉體的煅燒、半導體材料的擴散和氧化以及光伏行業氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅的渡膜工藝。目前，傳統的擴散爐采用內嵌電阻絲加熱，由于電阻絲在爐膛內沒有固定，長時間使用后會收縮變形，呈不規則形狀甚至繞在一起，造成短路燒毀，使設備無法正常使用；在設備結構設計上，傳統設備大多為單管或并排設計，占地面積較大，不能很好的節省場地空間，不符合現代設備小巧、緊湊、節能、美觀的要求；另外，傳統的擴散爐爐管兩端和中間沒有支撐，會造成高溫情況下爐管的變形、彎曲甚至斷裂現象，嚴重影響設備的使用和壽命。

發明內容

本實用新型一種擴散爐所要解決的技術問題是：克服上述傳統擴散爐的缺陷，提供一種具有溫度均勻穩定、溫度擾動小、升溫速度快等特點的一種擴散爐。

本實用新型所采取的技術方案是：一種擴散爐由機械框架、爐膛、控制柜和爐管等組成，機械框架為上下結構，上部固定爐膛、下部為控制柜，控制柜內安裝有氣氛系統和電氣元件，框架底部裝有滾輪；爐膛采用FEC陶瓷纖維加熱器加熱，圓周式布置，耐材全部選用陶瓷纖維輕質材料咬口拼裝而成，耐火層、保溫層材質分別選用高鋁纖維和硅酸鋁纖維，爐膛雙爐管設計，分上、下兩層，每層一個爐膛、每個爐膛分3個溫區，溫區間設計有隔板結構；控制柜與設備一體化設計，操作面板位于控制柜上部，操作面板上對應有溫控儀表、電源開關和操作按鈕；爐管材質選用高純氣煉石英，爐管可以自由進出爐膛，爐管一端帶有可以拆卸的石英管帽，爐管與管帽采用磨砂結合油脂密封，爐管另一端接氣氛系統，氣氛系統采用浮子流量計控制。

本實用新型的有益效果是：有效的克服了目前傳統的擴散爐內嵌電阻絲收縮變形和爐管的變形、彎曲甚至斷裂現象，提高爐膛內的溫度均勻性，保證物料的燒結品質，設備小巧、緊湊、節能、美觀，操作簡單，維護、維修十分方便。

附圖說明

圖1是本實用新型一種擴散爐主視圖。

1為機械框架，2為爐膛，3為控制柜，4為氣氛系統，5為電氣元件，6為滾輪，7為隔板結構，8為爐管，9為加熱器，10為耐火層，11為保溫層，12為管帽，13為操作面板，14為溫控儀表，15為電源開關，16為操作按鈕。

具體實施方式

如圖1，一種擴散爐，主要由機械框架1、爐膛2、控制柜3和爐管8等組成，機械框架1為上下結構，上部固定爐膛2、下部為控制柜3，控制柜3內安裝有氣氛系統4和電氣元件5，框架底部裝有滾輪6，可以移動，機械框架1主體全部采用國標A?3板材和型材焊接而成，為了設備外觀美觀大方，機械框架1表面全部采用獨立式靜電噴塑，維護、維修十分方便；爐膛2采用FEC陶瓷纖維加熱器9加熱，圓周式布置，耐材全部選用陶瓷纖維輕質材料咬口拼裝而成，有效地保證了爐膛2的平整性、密封性，耐火層10、保溫層11材質分別選用高鋁纖維和硅酸鋁纖維，爐膛2雙爐管8設計，分上、下兩層，每層一個爐膛2、每個爐膛2分3個溫區，溫區間設計有隔板結構7，用以減少溫區間的相互干擾，同時作為爐管8的支撐；爐管8材質選用高純氣煉石英，爐管8可以自由進出爐膛2，爐管8一端帶有可以拆卸的石英管帽12，爐管8與管帽12采用磨砂結合油脂密封，爐管8另一端接氣氛系統4，氣氛系統4采用浮子流量計控制；控制柜3與設備一體化設計，操作面板13位于控制柜3上部，操作面板13上對應有溫控儀表14、電源開關15和操作按鈕16。