[實(shí)用新型]一種真空爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120173361.8
• 申請(qǐng)日: 2011-05-27
• 公開（公告）號(hào): CN202092460U
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚宏勝;呂文強(qiáng);杜可棟;趙鳳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥高歌熱處理應(yīng)用技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F27B17/02
• 分類號(hào): F27B17/02;F27D1/10;F27D7/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于實(shí)驗(yàn)窯爐，具體是用于半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)工藝，也可用于炭化試驗(yàn)。

背景技術(shù)

真空爐系列設(shè)備主要適用于半導(dǎo)體器件、金屬材料的熱處理和還原性燒結(jié)工藝，也可用于炭化試驗(yàn)。目前，傳統(tǒng)的真空爐采用電阻絲加熱，由于電阻絲極限溫度比較低，導(dǎo)致爐膛的溫度也較低，滿足不了高溫工藝實(shí)驗(yàn)的要求；在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)上，傳統(tǒng)設(shè)備只能在低溫時(shí)抽真空，不能在高溫時(shí)抽真空，更不能在高溫時(shí)連續(xù)抽真空，由于爐膛材料在加熱升溫過程中會(huì)釋放氣體，使設(shè)備的真空度降低，從而影響工藝實(shí)驗(yàn)不能正常進(jìn)行；另外，由于傳統(tǒng)的真空爐爐膛采用重質(zhì)材料砌筑而成，重質(zhì)材料密度大、熱容性不好、容易掉渣，導(dǎo)致爐膛溫度不均勻，很難達(dá)到高、精工藝實(shí)驗(yàn)的指標(biāo)和要求。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型一種真空爐所要解決的技術(shù)問題是：克服上述傳統(tǒng)真空爐的缺陷，提供一種具有溫度均勻穩(wěn)定、升溫速度快、節(jié)能及壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)的真空爐裝置。

本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是：一種真空爐主要有機(jī)械框架、爐膛、真空系統(tǒng)組成，機(jī)械框架為立式結(jié)構(gòu)，上部固定爐膛，里面裝有真空系統(tǒng)，底部裝有滾輪。爐膛為外密封式，由真空罐和加熱腔組成，真空罐由雙層鋼板焊成密封圓桶形，前門可開啟式，帶手動(dòng)鎖緊裝置，頂部裝有壓力表、安全閥、放氣閥，側(cè)面布置有電源線接口，前后封頭通過法蘭連接，硅膠圈密封，夾層通水冷卻。加熱腔為整體式，可以進(jìn)出真空罐，采用全纖維輕質(zhì)材料咬口拼裝而成，耐火層選用莫來石纖維制品，底部有放置物料的承燒板，承燒板選用剛玉莫來石材質(zhì)，加熱選用U型硅鉬棒，硅鉬棒在加熱腔兩側(cè)布置，用夾具懸掛在加熱腔頂部。真空系統(tǒng)外面的機(jī)械框架側(cè)面裝有循環(huán)冷卻水接口。

本實(shí)用新型的有益效果是：真空系統(tǒng)可在高溫時(shí)連續(xù)抽真空，提供優(yōu)良的真空環(huán)境；利用鋼板夾層隔絕熱量，降低爐表溫度，防止灼傷；有效的克服了爐頂在使用中的坍塌和開裂現(xiàn)象；加熱腔的溫度均勻，保證物料的燒結(jié)品質(zhì)；設(shè)備外觀美觀大方，操作簡(jiǎn)潔，維護(hù)維修十分方便。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一種真空爐主視圖。

1為機(jī)械框架，2為爐膛，3為真空系統(tǒng)，4為滾輪，7為手動(dòng)鎖緊裝置，8為壓力表，9為安全閥，10為放氣閥。

圖2是本實(shí)用新型一種真空爐左視圖。

5為真空罐，6為加熱腔，11為循環(huán)冷卻水接口，12為電源線接口，13為耐火層，14為承燒板，15為硅鉬棒。

具體實(shí)施方式

如圖1和圖2，一種真空爐，主要有機(jī)械框架1、爐膛2、真空系統(tǒng)3組成，機(jī)械框架1為立式結(jié)構(gòu)，上部固定爐膛2，里面裝有真空系統(tǒng)3，底部裝有滾輪4，可以移動(dòng)。機(jī)械框架1主體全部采用國標(biāo)A?3板材和型材焊接而成，為了設(shè)備外觀美觀大方，表面全部采用獨(dú)立式靜電噴塑，維護(hù)、維修十分方便。

爐膛2為外密封式，由真空罐5和加熱腔6組成，真空罐5由雙層鋼板焊成密封圓桶形，用以提供優(yōu)良的真空環(huán)境，同時(shí)利用鋼板夾層隔絕熱量、降低爐表溫度、防止灼傷。真空罐5前門可開啟式，帶手動(dòng)鎖緊裝置7，真空罐5頂部裝有壓力表8、安全閥9、放氣閥10，側(cè)面布置有電源線接口12，真空罐5前后封頭通過法蘭連接，硅膠圈密封，夾層通水冷卻。

加熱腔6為整體式，可以進(jìn)出真空罐5，加熱腔6采用全纖維輕質(zhì)材料咬口拼裝而成，上部在拼裝時(shí)預(yù)埋99剛玉管，有效的克服了爐頂在使用中的坍塌和開裂現(xiàn)象，耐火層13選用莫來石纖維制品，加熱腔6底部有放置物料的承燒板14，承燒板14選用剛玉莫來石材質(zhì)，選用U型硅鉬棒15加熱，硅鉬棒15在加熱腔6兩側(cè)布置，用夾具懸掛在加熱腔6頂部，以提高加熱腔的溫度均勻性，保證物料的燒結(jié)品質(zhì)。

真空系統(tǒng)3外面的機(jī)械框架1側(cè)面裝有循環(huán)冷卻水接口11。