[實用新型]裝卡光掩模的主動卡爪機構

有效

• 申請號: 201120171908.0
• 申請日: 2011-05-26
• 公開（公告）號: CN202049929U
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 吉保國;梅琳
• 申請（專利權）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 賈海芬

1.一種裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于：包括支承座(16)、擺動氣缸(11)、具有卡口的主動卡爪、主動軸套(6)以及漲套(4)和主動轉盤(13)，擺動氣缸(11)安裝在支承座(16)上，主動轉盤(13)通過主動軸套(6)安裝在支承座(16)上并與擺動氣缸(11)的轉子連接，主動卡爪通過漲套(4)與主動轉盤(13)連接，支承座(16)或/和擺動氣缸(11)上安裝有檢測擺動角度的角度傳感器(12)，或支承座（16）或/和擺動氣缸（11）上安裝有檢測擺動角度的接近開關。

2.根據權利要求1所述的裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于：所述的主動軸套(6)呈T形，主動軸套(6)的T形端通過緊固件與支承座(16)連接，另一端由安裝在主動轉盤(13)上的卡簧(15)限位，主動轉盤(13)通過接盤(10)與擺動氣缸(11)的轉子連接，平面軸承(5)設置在主動轉盤(13)的軸承座內并頂在主動軸套(6)的T形端面，主動轉盤(13)或主動軸套(6)上設有油槽(14)。

3.根據權利要求1所述的裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于：所述的主動卡爪由連接軸(3)和卡爪(1)構成，卡爪(1)上設有卡口(1-1)，卡爪(1)通過緊固件與連接軸(3)連接，連接軸(3)內側的凸軸(3-1)與漲套(4)連接，外側具有插槽的外套(2)套裝在連接軸(3)和卡爪(1)上。

4.根據權利要求1所述的裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于：所述的主動轉盤(13)上至少設有兩個定位孔，主動軸套(6)上設有滾珠孔，安裝在支承座(16)上的緊釘螺釘(7)通過彈簧(8)將設置在主動軸套(6)上的滾珠(9)頂在主動轉盤(13)的定位槽內。

5.根據權利要求1所述的裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于：所述主動轉盤(13)上設有螺孔，定位螺釘安裝在主動轉盤(13)上并頂在漲套(4)上。?