[實(shí)用新型]一種三氯氫硅合成爐冷卻系統(tǒng)及三氯氫硅合成爐有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201120169364.4 | 申請(qǐng)日： | 2011-05-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN202054615U | 公開（公告）日： | 2011-11-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王小偉;張濱泉;李峰;楊光軍;胡永;侯俊峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 國電寧夏太陽能有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C01B33/107 | 分類號(hào)： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 753202 寧夏*** | 國省代碼： | 寧夏;64 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 三氯氫硅 合成 冷卻系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種三氯氫硅合成爐冷卻系統(tǒng)，其特征在于，包括：冷卻水進(jìn)水管，上方具有開口的出蒸汽管，充有惰性氣體的惰性氣體套管和壓力感應(yīng)裝置；
所述冷卻水進(jìn)水管的管體位于所述出蒸汽管內(nèi)部；所述冷卻水進(jìn)水管的進(jìn)水口從所述出蒸汽管的側(cè)壁伸出；惰性氣體套管套在所述出蒸汽管的外部；所述惰性氣體套管的外壁上設(shè)置有惰性氣體進(jìn)氣口和所述壓力感應(yīng)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述壓力感應(yīng)裝置為：遠(yuǎn)傳壓力表。
3.一種三氯氫硅合成爐，其特征在于，包括：合成爐本體和權(quán)利要求1所述的三氯氫硅合成爐冷卻系統(tǒng)；
所述三氯氫硅合成爐冷卻系統(tǒng)的冷卻水進(jìn)水口，蒸汽出口和惰性氣體進(jìn)氣口以及壓力感應(yīng)裝置位于所述合成爐本體的頂端外部；所述三氯氫硅合成爐冷卻系統(tǒng)的剩余部分位于所述合成爐本體內(nèi)部。
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