[實用新型]可自動調平的光刻平臺

有效

• 申請號: 201120168397.7
• 申請日: 2011-05-24
• 公開（公告）號: CN202067073U
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 葉茂賢
• 申請（專利權）人: 廣西欽州天山微電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 桂林市持衡專利商標事務所有限公司 45107
• 代理人: 蘇家達

技術領域

本實用新型涉及液晶顯示屏(LCD)的玻璃基板制造領域，具體涉及一種可自動調平的光刻平臺。

背景技術

在液晶面板的生產過程中，在對基板玻璃進行曝光時，要使平臺大玻璃(即菲林玻璃)和基板玻璃嚴格貼平，以提高圖形的精度，保證曝光的質量。現有的用于液晶顯示屏(LCD)的玻璃基板在進行曝光時的光刻平臺，主要包括菲林架，基板玻璃和支撐平臺，所述菲林架為框架，菲林架通過活頁連接翻蓋于支撐平臺上，基板玻璃放置在支撐平臺上，其中菲林架內安裝有位置固定的平臺大玻璃，當菲林架蓋合在支撐平臺上時，基板玻璃應與平臺大玻璃緊密貼合，而對平臺大玻璃的校平是通過調節菲林架來完成的，每次換版時都需重新調平菲林架，給操作帶來不便。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種平臺大玻璃可在菲林架內上下活動，自動對位，無需專人調節，安裝后便可使用的可自動調平的光刻平臺。

為解決上述問題，本實用新型所設計的可自動調平的光刻平臺，包括菲林架、底板、平臺大玻璃、支撐平臺和基板玻璃，支撐平臺安裝在底板上，基板玻璃定位安放于支撐平臺上，菲林架與底板鉸連翻蓋于支撐平臺上，所述菲林架包括上大下小的上框體和下框體，所述平臺大玻璃可上下活動的安裝于上框體內，上框體的框口設有防止平臺大玻璃脫出上框體的限位件；所述下框體大于支撐平臺，所述底板上設有支撐下框體使菲林架放平的調整墊塊，菲林架放平后下框體低于支撐平臺，而平臺大玻璃則落在基板玻璃上，并依靠自身的重量與基板玻璃自動緊密貼合，提高對位精度。

所述限位件為鉸連于菲林架上可轉進、轉出上框體框口的擋塊，平臺大玻璃安裝過程中，擋塊轉出上框體框口，安裝完畢擋塊轉進上框體框口對平臺大玻璃限位。

為適應不同規格尺寸平臺大玻璃的安裝，上框體尺寸比平臺大玻璃稍大一些，因此所述上框體的四周框面上設有防止平臺大玻璃在上框體內前后左右串動的調節銷。

所述支撐平臺與底板之間安裝有調平支撐平臺的中間板。

與現有技術相比，本實用新型在上框體的框口上設置了限位件，該限位件可轉進、轉出上框體框口，方便平臺大玻璃安裝；菲林架在往下蓋合時，平臺大玻璃不會脫落出來，且平臺大玻璃可依靠自身的重量，自動調整，使其可以和基板玻璃緊密貼合，實現自動對位，無需人工調節，且對位準確，提高圖形的精度，保證曝光的質量；在上框體的四周框面上還設有調節銷，使平臺大玻璃的不可以前后、左右運動，平臺大玻璃不會偏移，進一步提高曝光的質量。

附圖說明

圖1為本實用新型一種實施方式的結構示意圖；

圖2為圖1中的A向視圖；

圖3為圖1的側視圖。

圖中標號為：1、菲林架；2、底板；3、平臺大玻璃；4、支撐平臺；5、基板玻璃；6、調整墊塊；7、擋塊；8、調節銷；9、中間板；10、轉軸。

具體實施方式

本實用新型可自動調平的光刻平臺的結構如圖1、圖2、圖3所示，包括菲林架1、底板2、平臺大玻璃3、支撐平臺4和基板玻璃5，支撐平臺4通過可調平支撐平臺4的中間板9安裝在底板2上，基板玻璃5定位安放于支撐平臺4上，菲林架1與底板2上的水平轉軸10鉸連后可翻蓋于支撐平臺4上，轉軸10由兩端可調節高度的軸座支撐；所述菲林架1包括上大下小的上框體和下框體，所述平臺大玻璃3可上下活動的安裝于上框體內，上框體的框口鉸裝有防止平臺大玻璃3脫出上框體的擋塊7，上框體的四周框面上設有防止平臺大玻璃3前后左右串動的調節銷8；所述下框體大于支撐平臺4，所述底板2上設有支撐下框體使菲林架1放平的調整墊塊6，調整墊塊6與轉軸10的軸座共同調整菲林架1的高度，菲林架1放平后下框體低于支撐平臺4。

如圖1、圖2、圖3所示，擋塊7轉出上框體框口，待平臺大玻璃3裝入上框體后擋塊7轉進上框體框口，平臺大玻璃3被下框體托住，不會掉落出來，其上方有擋塊7擋住，不會向上方脫出，平臺大玻璃3的上下活動范圍為上框體的深度。在通過手柄操縱菲林架1蓋合過程中，平臺大玻璃3碰觸到基板玻璃5時，菲林架1繼續往下落，而平臺大玻璃3則停留于基板玻璃5上直到兩者緊密相貼，提高對位的精度。