[實用新型]一種高純度三氯氧磷使用裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120163761.0
• 申請日: 2011-05-16
• 公開（公告）號: CN202080602U
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發(fā)明（設計）人: 向東;舒驍驥;姜盛君
• 申請（專利權(quán)）人: 向東
• 主分類號: B65D85/82
• 分類號: B65D85/82;B65D85/84;B65D81/20
• 代理公司: 徐州市淮海專利事務所 32205
• 代理人: 胡亞輝

技術領域

本實用新型涉及一種高純度三氯氧磷的使用裝置。

背景技術

高純度的三氯氧磷(99.9999％～99.99999％)是生產(chǎn)制造光纖預制棒的主要原材料之一，也是集成電路、太陽能電池、電子元器件生產(chǎn)過程的擴散、摻雜工藝中的主要原料，被廣泛運用于光伏、IC產(chǎn)業(yè)。但其屬于強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應的無色透明化學品。目前高純度三氯氧磷的使用方法是用高純石英容器(0.4～1.5L)盛裝，進出氮氣管采用PFA閥門密封、連接，1/4英寸口徑管為進氮氣管，3/8英寸管為出氮氣的擴散管，在20℃恒溫水浴下(將石英瓶放入水浴鍋中)利用氮氣將三氯氧磷帶出至擴散爐。作為運輸和使用容器，其缺點是玻璃容器易碎、換瓶頻繁、操作危險(三氯氧磷遇水會產(chǎn)生爆炸)、泄漏風險高、人力成本高、物流成本高；另一種是使用19L不銹鋼SS316L儲罐，其缺點是操作煩瑣、裝置結(jié)構(gòu)復雜、工作壓力高(需用氮氣壓力作為動力源)、裝置自身成本高、維護成本高(需專業(yè)維護人員)，且不能徹底杜絕金屬雜質(zhì)對物料的污染。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠、無泄漏、無污染、使用方便，運行成本低的高純度三氯氧磷使用裝置。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：三氯氧磷儲運罐放在恒溫箱內(nèi)的稱重器上，三氯氧磷儲運罐頂部連接有帶氮氣進氣閥的氮氣進氣管和帶氮氣出氣閥的氮氣出氣管，恒溫箱內(nèi)有溫度重量顯示儀表。

氮氣進氣管一端插入三氯氧磷儲運罐的底部，另一端連接有氮氣閥。

由于本實用新型采用了上述結(jié)構(gòu)，增強了操作使用的連續(xù)性，簡化操作、減少勞動強度；徹底杜絕了三氯氧磷遇水產(chǎn)生的爆炸危險，極大提高了三氯氧磷使用過程中的安全性；極大地減少了三氯氧磷使用方的生產(chǎn)、維護成本和三氯氧磷供應方的物流成本；全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質(zhì)溶出風險。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)圖。

圖中1恒溫箱、2三氯氧磷儲運罐、3稱重器、4溫度重量顯示儀表、5氮氣進氣管、6氮氣出氣管、7氮氣進氣閥、8氮氣出氣閥、9氮氣閥。

具體實施方式

實施例：三氯氧磷儲運罐2放在恒溫箱1內(nèi)的稱重器3上，三氯氧磷儲運罐2頂部連接有帶氮氣進氣閥7的氮氣進氣管5和帶氮氣出氣閥8的氮氣出氣管6，恒溫箱1內(nèi)有溫度重量顯示儀表4，氮氣進氣管5一端插入三氯氧磷儲運罐2的底部，另一端連接有氮氣閥9。

三氯氧磷儲運罐2為進口高純PFA材料制成，容積為20L，該裝置的所有閥門均為進口高純PFA材料制成，防止了物料泄漏并方便安裝管道。三氯氧磷儲運罐2通過聯(lián)合國UN組織安全認證，可保證運輸?shù)陌踩裕獠靠膳溆懈邚姸扔操|(zhì)帶蓋塑料桶。恒溫箱1為密閉空間，依靠空氣作為熱交換介質(zhì)，需恒定溫度的精確度在0.3℃、均勻度在0.5℃，箱體上開2個恒溫部分與外界連接的孔(用于氮氣的進出)，并做到管道連接后管道與恒溫箱1的箱體完全密封，恒溫箱1內(nèi)設置可稱量三氯氧磷儲運罐2重量的稱重器。

使用時，三氯氧磷儲運罐2在三氯氧磷供應方廠家完成灌裝并安全運送到三氯氧磷使用方廠家。將三氯氧磷儲運罐2放置入恒溫箱1內(nèi)，通過三氯氧磷儲運罐2上的氮氣進氣閥7連接氮氣進氣管5(氮氣進氣管另一端連接氮氣閥9)、氮氣出氣閥8連接氮氣出氣管6(氮氣出氣管6另一端連接到擴散爐)。打開氮氣進氣閥7、氮氣出氣閥8，然后開啟恒溫箱1的恒溫系統(tǒng)，將溫度設置在20℃，通過溫度數(shù)顯表觀察箱內(nèi)溫度直至溫度恒定在20℃后，打開本裝置所連接的氮氣閥9即可進行使用。