[實用新型]一種臺式一體化原子力顯微鏡

無效

• 申請號: 201120163732.4
• 申請日: 2011-05-20
• 公開（公告）號: CN202083708U
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 韓雄;李立強;羅先照
• 申請（專利權）人: 蘇州海茲思納米科技有限公司
• 主分類號: G01Q60/36
• 分類號: G01Q60/36
• 代理公司: 北京紐樂康知識產權代理事務所 11210
• 代理人: 張朝元

1.一種臺式一體化原子力顯微鏡，包括主機（1）和金屬屏蔽隔音箱（2），其特征在于：所述主機（1）設在金屬屏蔽隔音箱（2）內的防震裝置（3）上，所述防震裝置（3）通過四根彈簧懸掛在金屬屏蔽隔音箱（2）內；所述主機（1）的下端設有掃描器基座（4），掃描器基座（4）前側面的中上方設有精密二維調節裝置（6），掃描器基座（4）的頂端設有掃描器（7），掃描器（7）的左右兩側對稱設有粗調驅動裝置（8），掃描器（7）的后端設有微調驅動裝置（12）；主機（1）的上端設有探針頭部（5），探針頭部（5）通過微調驅動裝置（12）和兩個粗調驅動裝置（8）支撐在掃描器基座（4）的上方，探針頭部（5）頂端的左右兩側分別設有四象限接收器二維調整機構（10）和激光器二維調整機構（11），探針頭部（5）前側面的中下部靠近邊緣處設有探針模塊（9）。