[實(shí)用新型]自動(dòng)限位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120161978.8
• 申請(qǐng)日: 2011-05-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202072763U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王祖強(qiáng);金永珉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/458
• 分類號(hào): C23C16/458
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)限位裝置。

背景技術(shù)

在很多生產(chǎn)工藝中會(huì)涉及到產(chǎn)品、部件的定位問(wèn)題，例如等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)法沉積非金屬薄膜。玻璃在工藝腔內(nèi)沉積薄膜，正常情況下，玻璃邊緣與鍍膜區(qū)邊界的距離是相等的(約2mm～5mm)，如果玻璃進(jìn)入工藝腔時(shí)位置偏離，會(huì)出現(xiàn)鍍膜區(qū)邊界與玻璃邊緣的距離不等，導(dǎo)致后續(xù)工序的不良。

現(xiàn)有技術(shù)大多采用在腔室外面安裝機(jī)械傳動(dòng)裝置，如氣動(dòng)卡子。這些機(jī)械傳動(dòng)裝置的原理都是主動(dòng)對(duì)玻璃施加力的作用，讓玻璃位置得到校正。其優(yōu)點(diǎn)是動(dòng)作快、時(shí)間短；缺點(diǎn)是經(jīng)常出現(xiàn)氣缸漏氣、機(jī)械故障等現(xiàn)象，導(dǎo)致動(dòng)作不一致，氣缸需要經(jīng)常更換，成本校高。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服上述的缺陷，本實(shí)用新型提供一種穩(wěn)定性更好的自動(dòng)限位裝置。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型是通過(guò)以下措施實(shí)現(xiàn)的：自動(dòng)限位裝置包括一個(gè)或復(fù)數(shù)個(gè)限位塊；所述限位塊設(shè)有承重部，所述承重部一側(cè)邊緣連接緩沖部，相對(duì)側(cè)邊緣連接校正部；緩沖部的斜面與承重部的平面之間成鈍角，校正部的斜面與承重部的平面之間成鈍角；所述限位塊上設(shè)有固定部。

特別是，所述緩沖部為緩沖斜面或緩沖彈簧片。

特別是，所述校正部為校正斜面或校正彈簧片。

特別是，在所述校正部上設(shè)有豎面，所述豎面上邊緣連接校正部，所述豎面下邊緣連接承重部。

特別是，還包括一個(gè)或復(fù)數(shù)個(gè)支柱，所述支柱位于被限位物體所在區(qū)域內(nèi)。

特別是，所述支柱包括柱狀套筒，所述套筒內(nèi)設(shè)置一個(gè)或復(fù)數(shù)個(gè)滾珠，位于所述套筒內(nèi)上端的滾珠的上端部分凸出于所述套筒上端面開(kāi)口。

本實(shí)用新型自動(dòng)限位裝置的限位塊設(shè)有依次連接的校正部、承重部和緩沖部，利用校正部的推力和緩沖部的過(guò)渡作用可以將放置位置有偏差的被限位物體調(diào)整至正確位置。豎面的設(shè)置有利于被限位物體的更準(zhǔn)確定位。支柱的使用有利于被限位物體的穩(wěn)定放置。在被限位物體的邊緣設(shè)置多個(gè)限位塊且在被限位物體的下方對(duì)稱設(shè)置支柱可以令本實(shí)用新型自動(dòng)限位裝置的限位作用更好。

本實(shí)用新型自動(dòng)限位裝置結(jié)構(gòu)合理，使用方便，限位效果好，可長(zhǎng)期穩(wěn)定使用。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型第一優(yōu)選實(shí)施例使用狀態(tài)示意圖。

圖2為圖1所示限位塊側(cè)視圖。

圖3為本實(shí)用新型第二優(yōu)選實(shí)施例使用狀態(tài)示意圖。

圖4為圖3所示限位塊結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為圖4所示限位塊側(cè)視圖。

圖6為本實(shí)用新型第三優(yōu)選實(shí)施例使用狀態(tài)示意圖。

圖7為圖6所示立柱主視圖。

圖8為圖6所示實(shí)施例立體示意圖。

圖9為圖8所示實(shí)施例俯視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合說(shuō)明書附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做詳細(xì)描述。

實(shí)施例一：如圖1所示，本實(shí)用新型自動(dòng)限位裝置包括一個(gè)或復(fù)數(shù)個(gè)限位塊2，所使用限位塊2的數(shù)量根據(jù)具體的使用條件來(lái)確定。當(dāng)被限位物體1需要在一個(gè)方向上限位時(shí)，可使用兩個(gè)沿所需限位方向相對(duì)放置的限位塊2；如果此時(shí)被限位物體1在某一端已經(jīng)被其他物體限位，則沿所需限位方向只使用一個(gè)限位塊2即可。當(dāng)被限位物體1需要在多個(gè)方向上限位時(shí)，可沿所需限位方向設(shè)置多組兩兩相對(duì)放置的限位塊2；如果被限位物體1在某一端或幾端已經(jīng)被其他物體限位，則沿所需限位方向再按需要使用若干限位塊2即可。

如圖2所示，限位塊的承重部為水平臺(tái)階22，校正部為校正彈簧片21，緩沖部為緩沖斜面23。使用時(shí)被限位物體的邊緣放置在水平臺(tái)階22上。水平臺(tái)階22的一側(cè)邊緣連接緩沖斜面23，緩沖斜面23與水平臺(tái)階22之間夾角成鈍角且兩者之間平滑相接，使被限位物體可以平滑地沿著緩沖斜面23移動(dòng)。限位塊2上設(shè)有固定部24，使限位塊可以穩(wěn)定地設(shè)置在指定地點(diǎn)。

在水平臺(tái)階22上與連接緩沖斜面23的邊緣相對(duì)側(cè)邊緣連接校正彈簧片21的一端，校正彈簧片21的另一端通過(guò)調(diào)節(jié)螺絲25固定在限位塊2上，調(diào)節(jié)螺絲25可根據(jù)需要調(diào)節(jié)校正彈簧片21使其呈一定弧度的彎曲。校正彈簧片21的彎曲和倔強(qiáng)系數(shù)比較小的特點(diǎn)使其能夠在所需限位方向上給被限位物體一個(gè)合適的力。

當(dāng)被限位物體1被放置在本實(shí)用新型自動(dòng)限位裝置上的位置有偏差時(shí)，校正彈簧片21可施加水平彈力將被限位物體1向?qū)γ娣较蛲疲槐幌尬晃矬w1的相對(duì)側(cè)邊緣此時(shí)處在緩沖斜面23上，在彈力的作用下被限位物體1沿緩沖斜面23向上滑移，最終達(dá)到該側(cè)的水平臺(tái)階22上，該側(cè)校正彈簧片21可以保證被限位物體1不會(huì)因?yàn)閼T性而偏離指定位置。