[實用新型]一種基于槽型懸臂梁結構的微質量傳感器無效
| 申請號： | 201120157779.X | 申請日： | 2011-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN202057398U | 公開（公告）日： | 2011-11-30 |
| 發明（設計）人： | 高仁璟;趙劍;劉書田;黃毓 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | G01G3/16 | 分類號： | G01G3/16 |
| 代理公司： | 大連星海專利事務所 21208 | 代理人： | 花向陽 |
| 地址： | 116024 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 懸臂梁 結構 質量 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于槽型懸臂梁結構的微質量傳感器，它主要包括一個與固定塊(1)固定連接的槽型懸臂梁(4)，其特征在于：它還包括壓電薄膜和探測物吸附膜(5)，所述槽型懸臂梁(4)在固定塊(1)一端設有1-2個相同的壓電薄膜，在懸臂端覆蓋有探測物吸附膜(5)。
2.根據權利要求1所述的一種基于槽型懸臂梁結構的微質量傳感器，其特征在于：所述槽型懸臂梁(4)的上部設有一個上壓電薄膜(2)。
3.根據權利要求2所述的一種基于槽型懸臂梁結構的微質量傳感器，其特征在于：所述槽型懸臂梁(4)的下部設有一個與上壓電薄膜(2)對稱的下壓電薄膜(3)。
4.根據權利要求1所述的一種基于槽型懸臂梁結構的微質量傳感器，其特征在于：所述槽型懸臂梁(4)的兩側或中間沿中心線開槽，形成工字型梁或回字梁結構，并采用彈性鋼或鈹青銅高彈性材料制作。
5.根據權利要求3所述的一種基于槽型懸臂梁結構的微質量傳感器，其特征在于：所述上壓電薄膜(2)和下壓電薄膜(3)極化類型相同，電氣連接采用并聯連接或串聯連接。
6.根據權利要求1所述的一種基于槽型懸臂梁結構的微質量傳感器，其特征在于：所述槽型懸臂梁(4)的截面結構，工字型單邊槽寬與梁寬比0＜w2/w1＜0.5，回字型槽寬與懸臂梁寬比為0＜w2/w1＜1，且槽高與懸臂梁高的比0＜h2/h1＜1。
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