[實用新型]承載架

無效

• 申請號: 201120150882.1
• 申請日: 2011-05-12
• 公開（公告）號: CN202067783U
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 楊宗育;盧永文;詹旻儒
• 申請（專利權）人: 隆達電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種承載架，適用于在晶圓涂布工藝時承載一晶圓，其特征在于該承載架整體是由一耐高溫材質制成，且該承載架包括：

一第一側板；

一第二側板，連結于該第一側板；以及

數個通道，形成于該第一側板及該第二側板間。

2.根據權利要求1所述的承載架，其特征在于該第一側板及該第二側板分別具有數個相對應的凹槽，所述凹槽位于所述通道的兩側。

3.根據權利要求1所述的承載架，其特征在于還包括一停止件，設置于該第一側板，用以限定該晶圓的位置。

4.根據權利要求1所述的承載架，其特征在于還包括至少二根支桿，連結于該第一側板及該第二側板之間。

5.根據權利要求4所述的承載架，其特征在于該承載架具有一第一側、及一第二側，且該支桿的數量為三個，該支桿的一設置于該第一側，其余二個該支桿設置于該第二側。

6.根據權利要求1所述的承載架，其特征在于還包括一第三側板、及一第四側板，分別連結于該第一側板及該第二側板間。

7.根據權利要求6所述的承載架，其特征在于還包括至少一桿件，連結于該第三側板及該第四側板間。

8.根據權利要求7所述的承載架，其特征在于還包括一第一握柄，設置于該第一側板或該第二側板上。

9.根據權利要求8所述的承載架，其特征在于還包括一第二握柄，設置于該第三側板或該第四側板上。

10.根據權利要求1或6所述的承載架，其特征在于該第一側板具有一第一頂面，其上設置有二個凸出定位點，且該第二側板具有一第二頂面，其上設置有二個凹陷定位點。

11.根據權利要求1所述的承載架，其特征在于該耐高溫材質的承載架為鋁合金的承載架。