[實用新型]制備電子級超純水的設備

無效

• 申請號: 201120146657.0
• 申請日: 2011-05-10
• 公開（公告）號: CN202080973U
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 馬慶凱;彭軍;李偉
• 申請（專利權）人: 重慶力德高端水處理設備研發有限公司
• 主分類號: C02F9/06
• 分類號: C02F9/06;C02F1/469
• 代理公司: 重慶博凱知識產權代理有限公司 50212
• 代理人: 張先蕓

技術領域

本實用新型涉及電子行業生產工藝用水領域，具體涉及一種制備電子級超純水的設備。

背景技術

集成電路的生產，幾乎每道工序需要超純水進行清洗，工件與水直接接觸，一方面芯片在加工過程中的微量玷污得到清洗，而另一方面純水中的微量雜質又可能使芯片再污染，無疑對產品有著極大的影響。?隨著集成電路程度的進一步提高，對水中污染物要求亦更為嚴格。

目前國內大多數電子行業用超純水系統由國外公司提供，而由國內公司提供的系統無法達到電子級水質標準，同時，由于國外公司不清楚國內各個區域原水水質狀況，所以系統設計非常繁雜，既不經濟，又不方便操作和維護，不利于運行成本的控制。

實用新型內容

針對上述現有技術的不足，本實用新型所要解決的技術問題是，提供一種在產水水質達到電子級超純水標準的條件下，操作簡單、成本更低、運行穩定的制備電子級超純水的設備。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用如下的技術方案：

一種制備電子級超純水的設備，包括連接自來水的原水箱，原水箱后通過管道依次連接預處理過濾系統、反滲透系統、CDI系統以及和上述系統電連并控制上述系統的PLC控制系統；

所述預處理過濾系統包括通過管道依次連接的多介質過濾器、活性炭過濾器和保安過濾器，所述活性炭過濾器與保安過濾器之間設置有阻垢劑藥箱，該阻垢劑藥箱出口通過管道與保安過濾器進水口連接，且該阻垢劑藥箱管道上設有計量泵；

所述反滲透系統包括通過管道依次連接的一級高壓泵、一級反滲透膜組、一級反滲透水箱、二級高壓泵、二級反滲透膜組和二級反滲透水箱，所述一級反滲透水箱和二級高壓泵之間設置有NaOH添加裝置，該NaOH添加裝置出口通過管道與二級高壓泵進水口連接，所述NaOH添加裝置與二級高壓泵之間的管道上設置有計量泵、PH檢測器；

所述CDI系統包括通過管道依次連接的CDI膜堆和CDI水箱；CDI水箱通過管道連接終端微濾器。

相對于現有技術，本實用新型具有如下優點：

1、本制備電子級超純水的設備采用PLC自動控制水處理及系統清洗，提高了系統的穩定性和控制的精確性，保證了產水水質。

2、多介質過濾器與活性炭過濾器采用上進下出水流方式，過濾效果好且維護檢修方便。

3、采用兩級反滲透膜處理，不需要添加大量的化學藥劑和酸堿再生處理，無化學廢液及廢酸、堿排放，無廢酸、堿的中和處理過程，不會造成環境污染。

4、反滲透水箱設置呼吸閥，確保了純水不受外界污染；一級反滲透水箱設置洋流選配功能，使水箱多余水量自動洋流，確保了一級反滲透膜組不需要頻繁啟動。

附圖說明

圖1為本實用新型系統結構圖；

其中，1為原水箱1，2為多介質過濾器，3為活性炭過濾器3，4為保安過濾器，5為一級高壓泵，6為一級反滲透膜組，7為一級反滲透水箱，8為二級高壓泵，9為二級反滲透膜組，10為CDI膜堆，11為CDI水質監測儀，12為NaOH添加裝置，13為純水輸送泵，14為二級反滲透水箱，15為CDI進水泵，16為超純水輸送泵，17為終端微濾器，18為CDI水箱，19為計量泵，20為阻垢劑藥箱，21為PH檢測儀，22為水質檢測儀，23為原水泵。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明

參見圖1：1，原水箱1后通過管道依次連接預處理過濾系統、反滲透系統、CDI系統，和上述系統電連并控制上述系統的PLC控制系統。