[實用新型]一種預烤裝置

有效

• 申請號: 201120141920.7
• 申請日: 2011-05-06
• 公開（公告）號: CN202061785U
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 徐鵬飛
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: B05D3/02
• 分類號: B05D3/02
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 武晨燕;周義剛

技術領域

本實用新型涉及材料的預烤工藝，尤其涉及一種預烤裝置。

背景技術

在彩色濾光片(Color?Filter)的制造工序中，需要將整面涂滿光阻的基板進行預烤以去除光阻中的溶劑。為了使基板的溫度保持在90±2℃，預烤一般采用熱板(Hot?Plate)模式，且預烤溫度為70-120℃，預烤時間為70-120s。圖1為現有技術中預烤裝置的結構示意圖，如圖1所示，現有技術中的預烤裝置具有腔體，該腔體由位于底部的熱板1、四個側板和上板3構成；其中，熱板1上形成有頂柱(Pin)，用于放置涂滿光阻的基板2，相對的兩個側板上分別形成有進風口5和出風口4。在基板的加熱過程中，進風口5通入熱風將光阻中揮發性的溶劑從出風口4帶走。由于上板3處于常溫23℃，當加熱的溶劑遇到冷的上板3時，容易凝結并滴落到基板1上，這樣會造成異物缺陷。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種預烤裝置，能夠防止凝結的溶劑滴落到在預烤裝置中進行預烤的基板上造成異物缺陷。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種預烤裝置，具有腔體，所述腔體由熱板、上板和至少三個側板構成，所述腔體上具有進風口和出風口；所述腔體內具有：傾斜板以及和傾斜板對應的溶劑收集盒；其中，

所述傾斜板的一邊固定在上板上，另一邊固定在一個側板上；

所述溶劑收集盒設置在側板上，且位于所述傾斜板的下方。

其中，所述傾斜板的數量為至少三個，所述溶劑收集盒的數量為至少三個。

進一步地，所述傾斜板的數量為偶數個，所述溶劑收集盒的數量為偶數個。

優選地，所述傾斜板的數量為四個，所述溶劑收集盒的數量為四個。

優選地，所述進風口形成在相對的兩個側板上，且位于所述溶劑收集盒的下方；所述出風口形成在所述上板上。

優選地，所述進風口形成在一個側板上，所述出風口形成在與所述一個側板相對的另一個側板上，所述進風口和出風口位于所述溶劑收集盒的下方。

優選地，所述傾斜板與水平面之間的夾角大于45度，且小于90度。

由以上技術方案可以看出，本實用新型的預烤裝置在腔體內設置對應的傾斜板以及溶劑收集盒，使凝結的溶劑沿著傾斜板的表面下滑，滴落到溶劑收集盒中，這樣可以防止凝結的溶劑滴落到在預烤裝置中進行預烤的基板上造成異物缺陷。

附圖說明

圖1為現有技術中預烤裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例一的預烤裝置的結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例一的預烤裝置的俯視示意圖；

圖4為本實用新型實施例二的預烤裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面對本實用新型的技術方案做詳細說明。

本實用新型的預烤裝置具有腔體，所述腔體由熱板、上板和至少三個側板構成，所述腔體上具有進風口和出風口；所述腔體內具有：傾斜板以及和傾斜板對應的溶劑收集盒；其中，

所述傾斜板的一邊固定在上板上，另一邊固定在一個側板上；

所述溶劑收集盒設置在側板上，且位于所述傾斜板的下方。

其中，所述傾斜板的數量為偶數個，所述溶劑收集盒的數量為偶數個。

進一步地，所述傾斜板的數量為四個，所述溶劑收集盒的數量為四個。

下面通過具體實施例對本發明的技術方案做進一步詳細說明。

如圖2和3所示，本實用新型實施例一的預烤裝置具有腔體，該腔體由位于底部的熱板1、四個側板和上板3構成。在該腔體內，涂滿光阻的基板2放置在熱板1上的頂Pin上。該腔體內還具有傾斜板7、8、9、10，以及和傾斜板一一對應的溶劑收集盒11、12、13、14。其中，每個傾斜板的一邊固定在上板3上，另一邊固定在一個側板上。溶劑收集盒設置在側板上，優選地，溶劑收集盒11、12、13、14均勻地設置在四個側板上。溶劑收集盒11位于傾斜板7的下方，其他一一對應的溶劑收集盒與傾斜板的位置關系也是如此。另外，相對的兩個側板上各形成有一個進風口5，所述進風口5位于所述溶劑收集盒的下方；上板3的中央處形成有出風口4?？梢钥闯?，實施例一的預烤裝置采用了相對側的兩個進風口5進熱風、頂部的出風口4出熱風這一設計，便于將光阻中的溶劑排出。

當基板2在實施例一的預烤裝置中預烤時，如果溶劑發生凝結，則溶劑會凝結在傾斜板7、8、9、10的下表面上，且凝結的溶劑會沿著傾斜板7、8、9、10的表面下滑，滴落到溶劑收集盒11、12、13、14中，這樣可以防止凝結的溶劑滴落到基板2上造成異物缺陷。