[實用新型]一種電性測試裝置

有效

• 申請號: 201120136764.5
• 申請日: 2011-05-03
• 公開（公告）號: CN202013722U
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號: G09G3/00
• 分類號: G09G3/00;G01R31/00
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本實用新型涉及顯示器陣列基板測試領域，特別是涉及一種電性測試裝置。

背景技術

在液晶面板制造過程中，陣列基板電性測試是一個重要的步驟，可以及時反應陣列基板制程狀況，并且能提供給激光修補設備修補所需的缺陷情況，從而提升產品良率。

目前業界較常用的電性測試設備從原理上分主要有兩種，一種是利用調制器模擬液晶盒的方式測試，另一種是電子束測試設備。

調制器測試設備的結構示意圖如圖1所示，陣列基板1.4放置在設備平臺1.5上，設備平臺1.5位于縱向支架1.3下方，縱向支架1.3上設置了可沿縱向支架1.3滑動的橫向支架1.2，調制器1.1可滑動地安裝在橫向支架1.2上。在對陣列基板1.4進行電性測試時，橫向支架1.2帶動調制器1.1沿縱向支架1.3進行圖中所示Y方向的移動，當調制器1.1運動至陣列基板1.4上方時，調制器1.1與陣列基板1.4上薄膜場效應晶體管(Thin?Film?Transistor，TFT)的像素電極及液晶分子組成一個液晶盒的結構。當給陣列基板1.4施加電壓的時候，液晶分子會在上下電極形成的電場中偏轉，從而反射光經由液晶分子后反射到采集攝像頭的光線強度也會發生變化，在該過程中正常像素和異常像素所形成的電場強弱不同造成液晶分子偏轉角度不同，最終造成反射到采集攝像頭的光線強度不同，由此可以區分正常像素和異常像素，完成陣列基板1.4的電性測試。

電子束測試設備的結構示意圖如圖2所示，其原理是通過電子束激發陣列基板并接收反饋回來的2次電子的方式進行電性測試。電子束測試設備為真空測試環境，電子束測試頭2.4固定在測試腔2.5上，陣列基板在測試腔內移動完成測試，陣列基板經進出門2.1進出緩沖區2.2，然后經開關門2.3進出測試腔。陣列基板進入測試腔2.5之后，電子束測試頭2.4發射出電子束，經由偏轉放大器控制偏轉線圈從而控制電子束打到陣列基板的強度及位置。當電子束打到陣列基板的像素電極后，會產生一些二次電子，然后由二次電子接收器接收后再進行分析。因為正常像素和異常像素本身所帶的電子狀況不同，所以產生的二次電子也會不同，從而可以區分出陣列基板的良品與不良品。

但是以上兩種測試設備都有較為明顯的缺陷，調制器測試設備中調制器與陣列基板間隙較小，很容易損壞調制器，使得成本偏高；電子束測試設備為真空環境測試，真空設備維護及保養非常不便。

實用新型內容

(一)要解決的技術問題

本實用新型要解決的技術問題是如何提高電性測試裝置對陣列基板的缺陷檢出率，避免對電性測試裝置或陣列基板的損壞，降低陣列基板生產的成本。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種電性測試裝置，包括設置在設備平臺上方的支架機構，以及安裝在所述支架機構上且沿所述支架機構橫向和縱向可移動的若干個調制器，所述設備平臺上放置被測陣列基板；所述支架機構上還設置有至少一個光學掃描鏡頭，其沿所述支架機構橫向和縱向可移動。

其中，所述支架機構包括并列設置在所述陣列基板兩側的縱向支架，以及設置在所述縱向支架兩端且沿縱向支架可滑動的橫向支架。

其中，所述橫向支架包括安裝所述若干個調制器的第一橫向支架和安裝所述若干個光學掃描鏡頭的第二橫向支架。

其中，所述支架機構上還設置有LED光源，對被測陣列基板測試區域打光。

其中，所述若干個調制器橫向可移動地設置在所述第一橫向支架上。

其中，所述若干個光學掃描鏡頭橫向可移動地設置在所述第二橫向支架上。

其中，所述第一橫向支架和第二橫向支架水平高度相等。

其中，所述LED光源設置在所述第二橫向支架上，所述若干個光學掃描鏡頭位于所述LED光源發出的光線經陣列基板反射后的反射光線方向上。

(三)有益效果

上述技術方案所提供的電性測試裝置，在大氣環境下對陣列基板進行電性測試，裝置維護和保養方便；在使用調制器進行電性測試之前，使用光學掃描鏡頭進行光學檢查，可檢測陣列基板上是否有大顆粒異物，提高了對陣列基板缺陷的檢出率，同時可避免電性測試時大顆粒異物對調制器的損傷，降低了陣列基板生產成本。

附圖說明

圖1是現有技術中調制器測試設備的結構示意圖；

圖2是現有技術中電子束測試設備的結構示意圖；

圖3是本實用新型實施例的電性測試裝置的結構示意圖。