[實(shí)用新型]一種節(jié)能型多晶硅還原爐

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120133015.7
• 申請(qǐng)日: 2011-04-29
• 公開（公告）號(hào): CN201990494U
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張春林;浦全福;孫銀祥;劉軍;陳艷梅;陳國(guó)奇;楊君;潘倫桃
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧夏陽光硅業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): C01B33/035
• 分類號(hào): C01B33/035
• 代理公司: 寧夏專利服務(wù)中心 64100
• 代理人: 葉學(xué)軍

1.一種節(jié)能型多晶硅還原爐，包括鐘罩型爐壁，設(shè)置在爐壁下方的底盤，設(shè)置在底盤上的電極和安裝在電極上的硅芯棒，底盤上還設(shè)置有原料氣體進(jìn)入口和尾氣排氣口，其特征是：上述底盤上設(shè)置有一個(gè)與爐壁同心且將硅芯棒罩住的圓筒形鐘罩式隔熱屏，該隔熱屏是由圓筒部和與所述圓筒部相接的有通孔的頂部組成；上述原料氣體進(jìn)入口設(shè)置在隔熱屏的圓筒部與爐壁之間的底盤上，尾氣排氣口設(shè)在底盤中心。

2.按照權(quán)利要求1所述的節(jié)能型多晶硅還原爐，其特征是：上述原料氣體進(jìn)入口至少有8個(gè)，且均勻分布在與還原爐同心的同一圓周上。

3.按照權(quán)利要求1所述的節(jié)能型多晶硅還原爐，其特征是：所述隔熱屏圓筒部的內(nèi)徑大于生長(zhǎng)后多晶硅棒最大占位直徑至少5cm，優(yōu)選為5～15?cm，隔熱屏圓筒部的高度高于生長(zhǎng)后多晶硅棒最大占位高度至少10cm，優(yōu)選為10～40cm。

4.按照權(quán)利要求1所述的節(jié)能型多晶硅還原爐，其特征是：所述通孔至少4個(gè)，均勻分布在隔熱屏頂部。

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