[實(shí)用新型]取像器防護(hù)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120125435.0
• 申請(qǐng)日: 2011-04-26
• 公開（公告）號(hào): CN202137861U
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉東波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 承澔科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/00
• 分類號(hào): B28D7/00;B24B9/06
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及具有取像器的設(shè)備，特別涉及晶圓切割機(jī)與液晶面板磨邊倒角機(jī)，具體涉及這些設(shè)備上的取像器防護(hù)裝置。?

背景技術(shù)

取像器(例如CCD)已廣泛應(yīng)用于不同設(shè)備(如晶圓切割機(jī)或液晶面板磨邊倒角機(jī)等)，用來(lái)擷取元件的影像，然而，部分具有取像器的設(shè)備在加工作業(yè)時(shí)，其加工刀具會(huì)因磨擦工件而產(chǎn)生高溫，為防止加工刀具損壞，即會(huì)對(duì)加工刀具噴灑冷卻液而降溫冷卻，但冷卻液或切屑等易隨加工刀具的旋轉(zhuǎn)而向外飛散噴濺至取像器的鏡頭上，以致影響取像器的取像品質(zhì)，因此，業(yè)者必須于設(shè)備上裝配一可遮蔽取像器的鏡頭的防護(hù)裝置，以防止鏡頭被噴濺到冷卻液或切屑，而確保取像器的取像品質(zhì)。?

請(qǐng)參閱圖1，以具有取像器的晶圓切割機(jī)為例，其設(shè)有旋轉(zhuǎn)臺(tái)、切割裝置、取像裝置及防護(hù)裝置，該旋轉(zhuǎn)臺(tái)11承置待切割的晶圓12，該切割裝置設(shè)有一可切割晶圓12的圓盤刀具13，并在圓盤刀具13上方的刀具護(hù)蓋14上裝配有兩個(gè)可噴灑冷卻液的噴管15，使噴管15對(duì)圓盤刀具13噴灑冷卻液，該取像裝置位于切割裝置的側(cè)方，并在機(jī)架16上裝配有可擷取晶圓12影像的取像器17，另于機(jī)架16上裝配有防護(hù)裝置，該防護(hù)裝置于相對(duì)應(yīng)取像器17的位置設(shè)有一壓缸18，并在壓缸18的活塞桿前端設(shè)有遮板19，再者，該取像裝置的機(jī)架16連結(jié)切割裝置的刀具護(hù)蓋14，使切割裝置與取像裝置可同步位移，并通過(guò)中央控制器(圖未示出)的軸向控制，使切割裝置、取像裝置及旋轉(zhuǎn)臺(tái)11相互搭配作X-Y-Z軸向的相對(duì)位移，以便進(jìn)行聚焦、取像及切割作業(yè)，于執(zhí)行聚焦、取像晶圓12作業(yè)時(shí)，防護(hù)裝置控制壓缸18的活塞桿帶動(dòng)遮板19向后位移，使遮板19離開取像器17的下方，以供取像器17對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)11上的晶圓12進(jìn)行聚焦、取像作業(yè)；請(qǐng)參閱圖2，于聚焦、取像作業(yè)完畢后，切割裝置的圓盤刀具13即切割旋轉(zhuǎn)臺(tái)11上的晶圓12，并以噴管15對(duì)圓盤刀具13噴灑冷卻液，由于冷卻?液或切屑等會(huì)隨圓盤刀具13的旋轉(zhuǎn)而向外飛散，為防止冷卻液或切屑噴濺至取像器17的鏡頭上，該防護(hù)裝置即控制壓缸18的活塞桿帶動(dòng)遮板19向前位移，使遮板19遮蔽取像器17的鏡頭，以防止鏡頭被噴濺到冷卻液或切屑，而確保取像器17的取像品質(zhì)；然而，此一防護(hù)裝置的壓缸18僅可帶動(dòng)連結(jié)于活塞桿前端的單一遮板19向前位移，用來(lái)遮蔽取像器17的鏡頭，導(dǎo)致如欲增設(shè)復(fù)數(shù)個(gè)取像器17時(shí)，即必須在有限的空間內(nèi)擴(kuò)大壓缸18的行程，或另外裝配相對(duì)應(yīng)數(shù)量的壓缸18，方可利用壓缸18帶動(dòng)連結(jié)的遮板19遮蔽相對(duì)應(yīng)的取像器17，不僅在有限的空間上不易配置，且如裝配相對(duì)應(yīng)數(shù)量的壓缸18也會(huì)造成裝配作業(yè)繁瑣耗時(shí)，而增加設(shè)備成本，導(dǎo)致不易增設(shè)遮板的缺失。?

因此，如何設(shè)計(jì)一種可易于增設(shè)遮板，并節(jié)省成本的防護(hù)裝置，即為業(yè)者研發(fā)的標(biāo)的。?

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于，提供一種取像器防護(hù)裝置，可易于增設(shè)遮板，并節(jié)省成本。?

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：?

一種取像器防護(hù)裝置，裝配于取像器側(cè)方的機(jī)架上，其特征在于：在機(jī)架上設(shè)有承置件，用來(lái)承置驅(qū)動(dòng)源，該驅(qū)動(dòng)源樞接有連動(dòng)件，該連動(dòng)件則樞接于相對(duì)應(yīng)取像器數(shù)量的遮板的一側(cè)，遮板再樞接于承置件上。?

其中：該承置件是外罩，并在外罩的底板上開設(shè)有相對(duì)應(yīng)取像器數(shù)量的通孔。?

其中：該驅(qū)動(dòng)源是壓缸，壓缸的活塞桿前端并以第一樞軸樞接連動(dòng)件，連動(dòng)件以第二樞軸樞接于遮板的一側(cè)，遮板再以第三樞軸樞接于外罩的底板上。?

其中：該壓缸的后端開設(shè)有穿孔，并在該壓缸下方設(shè)有一個(gè)具有通孔的墊塊，在外罩的底板上開設(shè)有定位孔，一定位件穿置壓缸的穿孔及墊塊的通孔，并組裝于外罩的定位孔，而將壓缸及墊塊定位于外罩的底板上。?

其中：該外罩的定位孔是螺孔，而定位件是螺栓。?

其中；該壓缸在活塞桿的前端設(shè)有具有樞孔的塊體，在連動(dòng)件上開設(shè)有軸孔，第一樞軸穿置壓缸的樞孔及連動(dòng)件的軸孔，用來(lái)樞接壓缸及連動(dòng)件。?

其中：該連動(dòng)件開設(shè)有樞孔，遮板設(shè)有具有軸孔的連接部，第二樞軸穿置于連動(dòng)件的樞孔及遮板的軸孔，用來(lái)樞接遮板及連動(dòng)件。?

其中：該遮板開設(shè)有樞孔，外罩于底板上相對(duì)應(yīng)遮板的樞孔位置開設(shè)有軸孔，第三樞軸穿置遮板的樞孔及外罩的軸孔，用來(lái)樞接遮板及承置件。?

與現(xiàn)有技術(shù)相比較，采用上述技術(shù)方案的本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)在于：?

1.本實(shí)用新型可視取像器的數(shù)量而易于增設(shè)相對(duì)數(shù)量的遮板，并利用一驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)遮板同步旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)而遮蔽取像器，達(dá)到易于增設(shè)遮板的實(shí)用效益。?