[實用新型]籽晶切割夾具

無效

• 申請號: 201120124622.7
• 申請日: 2011-04-13
• 公開（公告）號: CN202053394U
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發明（設計）人: 趙體月;劉西誠;岳耀清
• 申請（專利權）人: 濟寧佳華電子材料有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域：

本實用新型屬于切割機械技術領域，更具體的說是一種單晶硅晶體生長過程中使用的籽晶的切割工具。

背景技術：

單晶硅是制造半導體硅器件的主要原料，廣泛應用于制造大功率整流器、大功率晶體管、二極管、開關器件等，但由于單晶硅晶體生長中成核是比較困難的一步，在單晶硅晶體生長過程中需要采用籽晶進行引導，籽晶實際上就是提供一個晶體比較容易繼續生長的中心，籽晶要求選材要好，要選用晶向一致、無位錯、無損傷、無應力的部分，一般取材部位與尾部要有足夠距離，切割過程中不能有切割損傷，以免影響單晶硅晶體的生長，目前還沒有專業的籽晶切割夾具，籽晶切割技術含量高，切割難度大，切割過程中一旦出現損傷，在晶體的生長過程就容易出現斷裂，就會造成較大的經濟損失。

發明內容：

為解決上述問題，本實用新型提供了一種專業的籽晶切割夾具，所述的籽晶切割夾具由固定夾、工作臺、十字榫、滑動夾、支撐臺、調節鈕、十字榫槽組成，其特征是支撐臺的上端設置工作臺，工作臺的上端一側設置固定夾，工作臺的上端另一側設置滑動夾，工作臺的下端中心位置上設置十字榫，與十字榫相對應的支撐臺上設置十字榫槽，十字榫的下側設置調節鈕。

本實用新型所述的十字榫、十字榫槽，其特征在于十字榫和十字榫槽的斷面均為梯形，十字榫與十字榫槽相吻合。

使用時，將需要切割的籽晶利用固定夾和滑動夾夾住，通過調節鈕使工作臺在十字榫槽的約束下轉動，完成對籽晶各面的切割作業。

本實用新型的有益效果是籽晶切割夾具結構簡單，使用方便，籽晶在切割過程中不易出現損傷。

附圖說明：

附圖是本實用新型結構示意圖，附圖中：

1.固定夾，2.工作臺，3.十字榫，4.滑動夾，5.支撐臺，6.調節鈕，7.十字榫槽。

具體實施方式：

結合附圖對本實用新型進一步詳細描述，以便公眾更好地掌握本實用新型的實施方法，本實用新型具體的實施方案為：所述的籽晶切割夾具由固定夾1、工作臺2、十字榫3、滑動夾4、支撐臺5、調節鈕6、十字榫槽7組成，其特征是支撐臺5的上端設置工作臺2，工作臺2的上端一側設置固定夾1，工作臺2的上端另一側設置滑動夾4，工作臺2的下端中心位置上設置十字榫3，與十字榫3相對應的支撐臺5上設置十字榫槽7，十字榫3的下側設置調節鈕6。

本實用新型所述的十字榫3、十字榫槽7，其特征在于十字榫3和十字榫槽7的斷面均為梯形，十字榫3與十字榫槽7相吻合。

使用時，將需要切割的籽晶利用固定夾1和滑動夾4夾住，通過調節鈕6使工作臺2在十字榫槽7的約束下轉動，完成對籽晶各面的切割作業。

本實用新型的有益效果是籽晶切割夾具結構簡單，使用方便，籽晶在切割過程中不易出現損傷。