[實用新型]硅單晶爐爐蓋觀察窗無效
| 申請號: | 201120118912.0 | 申請日: | 2011-04-21 |
| 公開(公告)號: | CN202054930U | 公開(公告)日: | 2011-11-30 |
| 發明(設計)人: | 惠夢君 | 申請(專利權)人: | 無錫市惠德晶體控制設備有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00;C30B15/26 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 劉宗杰 |
| 地址: | 214174 江蘇省無錫市惠山經*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅單晶爐爐蓋 觀察窗 | ||
技術領域
本實用新型涉及硅單晶爐爐蓋,尤其涉及一種硅單晶爐爐蓋觀察窗。
背景技術
請參閱圖1及圖2所示,圖1為傳統的硅單晶爐爐蓋觀察窗的俯視圖,圖2為傳統的硅單晶爐爐蓋觀察窗的側視圖,傳統的硅單晶爐爐蓋1上分別設置有第一觀察窗10和第二觀察窗11,所述第一觀察窗10用于利用攝像機3進行觀察,第二觀察窗11用于人工進行觀察,且所述第一觀察窗10設置于爐蓋1的豎直方向上,第二觀察窗11設置于爐蓋1的水平方向上,一般第一觀察窗10處設置有2個攝像頭,它們的俯角不一樣。傳統的硅單晶爐爐蓋觀察窗的設計會限制攝像頭的俯角,存在觀察盲區。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種硅單晶爐爐蓋觀察窗,其具有結構簡單,對攝像頭俯角限制小的特點。
本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現:
一種硅單晶爐爐蓋觀察窗,其包括設置于硅單晶爐爐蓋之上的第一觀察窗和第二觀察窗,所述第一觀察窗的窗口處設置有若干個攝像頭,其中,且所述第一、第二觀察窗均設置于爐蓋所處平面的水平方向上。
特別地,所述攝像頭設置為2個,沿爐蓋的徑向線并列設置于第一觀察窗窗口處。
特別地,所述第一、第二觀察窗為橢圓形、矩形或長圓形的任一種結構。
本實用新型的有益效果為,所述硅單晶爐爐蓋觀察窗的第一、第二觀察窗均設置于爐蓋所處平面的水平方向上,第一觀察窗窗口處沿爐蓋的徑向線并列設置有2個攝像頭,使第一觀察窗對攝像頭的俯角范圍很寬,因而可以適用于不同的工藝環境,同時攝像機的安裝調試也很方便。
附圖說明
下面根據附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明。
圖1為傳統的硅單晶爐爐蓋觀察窗的俯視圖,
圖2為傳統的硅單晶爐爐蓋觀察窗的側視圖,
圖3為本實用新型硅單晶爐爐蓋觀察窗的俯視圖,
圖4為本實用新型硅單晶爐爐蓋觀察窗的側視圖。
具體實施方式
請參照圖3及圖4所示,圖3為本實用新型硅單晶爐爐蓋觀察窗的俯視圖,圖4為本實用新型硅單晶爐爐蓋觀察窗的側視圖。于本實施例中,一種硅單晶爐爐蓋觀察窗,其包括設置于硅單晶爐爐蓋2之上的第一觀察窗20和第二觀察窗21,所述第一觀察窗20和第二觀察窗21均設置于爐蓋2所處平面的水平方向上,所述第一觀察窗21的窗口處設置有2個攝像頭3,攝像頭3沿爐蓋2的徑向線并列設置,且所述第一觀察窗20和第二觀察窗21均為橢圓形結構。
上述硅單晶爐爐蓋觀察窗的第一觀察窗20和第二觀察窗21均設置于爐蓋2的水平方向上,第一觀察窗20的窗口處沿爐蓋的徑向線并列設置有2個攝像頭3,使第一觀察窗20對攝像頭3的俯角范圍很寬,因而可以適用于不同的工藝環境,同時攝像機的安裝調試也很方便。
以上實施例只是闡述了本實用新型的基本原理和特性,可隨觀察窗的形狀以及攝像頭的設置個數的改變而改變。本實用新型不受上述事例限制,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還有各種變化和改變,這些變化和改變都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
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