[實用新型]一種等離子刻蝕用夾緊裝置

有效

• 申請號: 201120118281.2
• 申請日: 2011-04-20
• 公開（公告）號: CN202067763U
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 成品奇;李鵬飛;王輝;胥健奇;張茂勝
• 申請（專利權）人: 江蘇伯樂達光伏有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01J37/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 菅秀君

1.一種等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，包括第一夾具、與所述第一夾具形狀相同的第二夾具、兩個連接桿、兩個緊固元件，所述第一夾具和所述第二夾具的兩側均具有孔洞，所述兩個連接桿的一端分別固定在所述第一夾具的兩個孔洞內，所述兩個連接桿的另一端分別穿過所述第二夾具的兩個孔洞，所述第二夾具通過所述緊固元件與所述兩個連接桿活動連接，所述等離子刻蝕用夾緊裝置還包括兩個表面光滑的石英夾板，所述石英夾板能放入所述第一夾具和所述第二夾具之間，并且兩個所述石英夾板分別與所述第一夾具和所述第二夾具緊密接觸。

2.如權利要求1所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述石英夾板的厚度為6mm至8mm。

3.如權利要求1所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述緊固裝置為螺母。

4.如權利要求1所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，兩個所述石英夾板之間安置有重合疊放的多個硅片。

5.如權利要求4所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述石英夾板為正方體。

6.如權利要求5所述的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述石英夾板的邊沿和與其接觸的硅片的邊沿重疊。

7.如權利要求1至6中任一項的等離子刻蝕用夾緊裝置，其特征在于，所述等離子刻蝕用夾緊裝置還包括把手，所述把手固定在所述第二夾具的上表面。