[實(shí)用新型]手動曝光機(jī)抽真空引導(dǎo)槽結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120106725.0
• 申請日: 2011-04-13
• 公開（公告）號: CN202033584U
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王加文;陳建;孫衛(wèi)星
• 申請（專利權(quán)）人: 高德（蘇州）電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 馬明渡

1.一種手動曝光機(jī)抽真空引導(dǎo)槽結(jié)構(gòu)，所述手動曝光機(jī)包括玻璃臺面，玻璃臺面邊沿上設(shè)有抽氣口，其特征在于：還包括一槽板，該槽板沿玻璃臺面的邊沿設(shè)于其上；槽板朝向所述玻璃臺面的一面開設(shè)有引導(dǎo)槽，并在槽板朝向玻璃臺面中心的側(cè)邊上等距開設(shè)若干抽氣槽口；所述引導(dǎo)槽將各抽氣槽口與抽氣口連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的手動曝光機(jī)抽真空引導(dǎo)槽結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述槽板沿玻璃臺面的三邊邊沿設(shè)置。