[實用新型]一種單晶爐用的密封裝置無效
| 申請號: | 201120102407.7 | 申請日: | 2011-04-11 |
| 公開(公告)號: | CN202032094U | 公開(公告)日: | 2011-11-09 |
| 發明(設計)人: | 朱仲寶;夏偉 | 申請(專利權)人: | 江蘇寶佳太陽能發展有限公司 |
| 主分類號: | F16J15/34 | 分類號: | F16J15/34 |
| 代理公司: | 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102 | 代理人: | 任利國 |
| 地址: | 225006 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶爐用 密封 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種單晶爐用的密封裝置,屬于軸密封技術領域。
背景技術
目前,通常使用單晶爐制取單晶硅,一般采用如下方法制造:將多晶硅裝進石英坩堝內,加熱熔化,然后,將熔硅略做降溫,給予一定的過冷度,把籽晶裝入硅籽晶夾持器中,將籽晶夾持器的上端通過連接件與籽晶軸連接,籽晶固定于夾持器的下端,并且使籽晶與硅熔體接觸,通過調整熔體的溫度和籽晶向上的提升速度,使籽晶體長大。
在生產過程中,單晶爐爐體內需要保持一定的真空度,旋轉機構的軸穿過頂蓋必須實現密封,目前多采用填料密封,填料密封的特點是:如果填料壓得過緊,將加快軸的磨損,過松則密封性能不好。往往在使用初期,填料壓緊到合適的程度,密封效果較好,隨著使用時間的延長,其密封性能下降。由于單晶爐旋轉機構位置比較高,操作人員爬到高位檢查不太方便,泄漏產生時不易察覺。
實用新型內容
本實用新型的目的在于,克服現有技術中存在的問題,提供一種單晶爐用的密封裝置,自身具備一定彈性,長時間運轉后,仍然能保持良好的密封。
為解決以上技術問題,本實用新型所提供的一種單晶爐用的密封裝置,包括密封面相互配合的石墨靜環及石墨動環;所述石墨靜環安裝在頂蓋的臺階孔中,石墨靜環的下端面與所述臺階孔之間通過靜環密封圈實現密封,所述石墨靜環的下端面上設有靜環固定槽,臺階孔上設有插入所述靜環固定槽中且與靜環固定槽相適配的靜環銷釘;所述石墨動環安裝在密封環座的下端面上,所述密封環座的上端面連接在彈簧活動座上,所述彈簧活動座與所述密封環座的相向端面之間通過動環密封圈實現密封,所述密封環座的上端面上設有密封環座銷釘孔,所述彈簧活動座的下端面上設有與所述密封環座銷釘孔相適配的彈簧活動座銷釘,所述彈簧活動座銷釘插入所述密封環座銷釘孔中;所述彈簧活動座與彈簧固定座之間設有彈簧,所述彈簧固定座上設有螺釘孔,緊定螺釘擰入所述螺釘孔將彈簧固定座鎖緊在旋轉軸上。
相對于現有技術,本實用新型取得了以下有益效果:密封通過石墨動環和石墨靜環的相向端面實現的,石墨比較耐磨且具有自潤滑功能,運轉一段時間后,石墨動環和石墨靜環的密封面微量磨損,彈簧的推力仍然可以保持兩密封環之間良好的密封。
作為本實用新型的優選方案,所述靜環密封圈設有相互嵌套的兩個。
作為本實用新型的優選方案,所述動環密封圈設有相互嵌套的兩個。
附圖說明
圖1為本實用新型單晶爐用的密封裝置的分解示意圖。
圖2為圖1中石墨靜環沿A-A的下端面視圖。
圖3為本實用新型單晶爐用的密封裝置的安裝示意圖。
圖4為圖3中軸套的放大圖。
圖5為圖4的B向視圖。
圖中:1彈簧固定座、1a螺釘孔、1b緊定螺釘、2彈簧、3彈簧活動座、3a彈簧活動座銷釘、4第一動環密封圈、5第二動環密封圈、6密封環座、6a密封環座銷釘孔、6b石墨動環、7石墨靜環、7a靜環固定槽、8第一靜環密封圈、9第二靜環密封圈、10旋轉軸、11軸套、11a鍵槽、11b軸套端面密封槽、12頂蓋、12a靜環銷釘、13鍵、14軸套端面密封圈。
具體實施方式
如圖1、圖2及圖3所示,本實用新型的單晶爐用的密封裝置包括密封面相互配合的石墨靜環7及石墨動環6b。
石墨靜環7安裝在頂蓋12的臺階孔中,石墨靜環7的下端面與臺階孔之間通過靜環密封圈實現密封,靜環密封圈包括相互嵌套的第一靜環密封圈8和第二靜環密封圈9。石墨靜環7的下端面上設有靜環固定槽7a,臺階孔上設有靜環固定槽7a相適配的靜環銷釘12a,靜環銷釘12a插入靜環固定槽7a中使靜環不能轉動。
石墨動環6b安裝在密封環座6的下端面上且兩者連為一體,密封環座6的上端面連接在彈簧活動座3上,彈簧活動座3與密封環座6的相向端面之間通過動環密封圈實現密封,動環密封圈包括相互嵌套的第一動環密封圈4和第二動環密封圈5。密封環座6的上端面上設有密封環座銷釘孔6a,彈簧活動座3的下端面上設有與密封環座銷釘孔6a相適配的彈簧活動座銷釘3a,彈簧活動座銷釘3a插入密封環座銷釘孔6a中;彈簧活動座3與彈簧固定座1之間設有彈簧2,彈簧固定座1上設有螺釘孔1a,緊定螺釘1b擰入螺釘孔1a將彈簧固定座1鎖緊在旋轉軸10上。
如圖3、圖4及圖5所示,為了保護旋轉軸10,在旋轉軸10上套裝有軸套11,軸套11內壁設有鍵槽11a并通過鍵13與旋轉軸10連接,彈簧固定座1鎖緊在軸套11的外壁,軸套11的下端面上設有軸套端面密封槽11b,軸套端面密封槽11b中安裝有軸套端面密封圈14。
除上述實施例外,本實用新型還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術方案,均落在本實用新型要求的保護范圍內。
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