[實用新型]一種薄片及其固定裝置

有效

• 申請號: 201120100527.3
• 申請日: 2011-04-08
• 公開（公告）號: CN202008537U
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發明（設計）人: 湛賓洲
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B5/00
• 分類號: G02B5/00;G02B7/00;G03F7/20;H01F7/06
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及光刻機設備領域，且特別涉及一種薄片及其固定裝置。

背景技術

如圖1所示，在光刻機曝光系統中，為了校正照明均勻性或者產生特定形狀、能量分布的照明場，需要添加光闌，而在有些位置上學或者機械部件之間允許的間隙很小，一般小于0.4mm，這時就需要插入擋光薄片做光闌。擋光薄片受到空間約束，可用空間有限，安裝比較困難?，F有技術中對于擋光薄片固定的方法有：壓持法、膠結法和電化學附著法。

壓持法通常對薄片的安裝采用雙面壓持或者單面點膠。例如將薄片附著于細棒末端的網狀結構上，細棒插入兩個壓持面之間，通過壓持面的壓持固定薄片，此結構通過推拉棒狀物可以調節薄片的位置，此結構的缺點一方面是薄片附著在網狀物上的工藝難度比較大，而且此結構缺少校正薄片翹曲和細棒彎曲的機制。

或者使用一種U形薄片保持型架，U形架中有夾持部位，通過夾持部位對薄片的壓緊來固定薄片，此結構比較簡練，對于固定整塊的薄片比較有利，能夠有效的抑制薄片變形，但是如果用于固定光學中的多個伸出的薄片，則薄片伸出端很容易搖擺，固定非常困難。

在空間要求非常狹小的情況下，擋光薄片厚度很小(0.2mm以下)，而且還要收到輻射熱，容易翹曲變形。擋光薄片的安裝難度和防翹曲難度比較大。雙面壓持幾乎是不可能的，而單面點膠在光線光能相對集聚的部位又存在很大風險。

電化學附著法是一種用電化學原理將金屬薄片固定在基體上的方法，這種方法最終成型出的結構比較簡單，但是加工需要專用設備，而且薄片拆卸也不大方便。

現有技術中對于擋光薄片固定不管使用哪一種方法，都難以抑制薄片伸出端的翹曲。而對于擋光薄片來說，彈性翹曲以及受熱翹曲是比較難解決的問題。

因此，急需一種應用于光刻機系統小間隙下擋光薄片的固定裝置，能抑制薄片伸出端的彈性翹曲以及受熱翹曲，使得薄片容易固定，方便拆卸。

實用新型內容

本實用新型提出一種薄片及其固定裝置，能在小間隙情況下安裝薄片，抑制薄片伸出端的彈性翹曲以及受熱翹曲，使得薄片容易固定，方便拆卸。

為了達到上述目的，本實用新型提出一種薄片，所述薄片包含一片以上的磁性L形薄片或磁性平直薄片。

進一步的，所述薄片的材料為含有鐵、鈷或者鎳的合金材料。

本實用新型還提供一種薄片固定裝置，包括：安裝基體和磁性機構，所述薄片通過磁性機構吸附于安裝基體上。

進一步的，所述安裝基體中設有垂直于所述薄片安裝方向的開孔，所述磁性機構安裝于所述開孔中。

進一步的，所述薄片為磁性L形薄片，通過螺釘或彈性壓持結構固定安裝在所述安裝基體上。

進一步的，所述彈性壓持結構為彈片或帶有平面的彈性柱塞。

進一步的，所述薄片為磁性平直薄片，通過耐熱膠固定安裝在所述安裝基體上。

進一步的，所述磁性機構為一個柱狀或馬蹄狀的永磁體或電磁鐵。

進一步的，所述磁性機構包含多個柱狀或馬蹄狀的，磁極交錯排列的永磁體或電磁鐵。

進一步的，所述電磁鐵配有電磁鐵線圈電流調節裝置。

進一步的，所述開孔靠近所述薄片的一端的孔徑比磁性機構的外徑小，所述開孔遠離所述薄片的一端內裝有磁體限位螺釘。

進一步的，所述安裝基體的內部或外部設有散熱結構。

進一步的，所述散熱結構為冷卻孔，跨度覆蓋所述薄片，設置于所述安裝基體中。

進一步的，所述冷卻孔由若干通孔和盲孔組成，并配有密封螺釘。

進一步的，所述冷卻孔的兩端設有內螺紋，裝有管接頭，連接通入氣體或者液體的管道。

與現有技術相比，本實用新型的薄片是有磁性的，通過配套的磁性機構吸附緊貼到帶有冷卻孔的安裝基體上，實現了在小間隙情況下安裝薄片，抑制薄片伸出端的彈性翹曲以及受熱翹曲的目標，使得薄片容易固定，方便拆卸。

附圖說明

圖1所示為現有技術的擋光薄片安裝于光刻機系統示意圖；

圖2所示為本實用新型較佳實施例的薄片固定裝置結構示意圖；

圖3所示為本實用新型較佳實施例的薄片固定裝置的斷面結構示意圖；

圖4所示為本實用新型較佳實施例的磁性結構剖面示意圖；

圖5所示為本實用新型較佳實施例的安裝基體剖面示意圖。

具體實施方式

為了更了解本實用新型的技術內容，特舉具體實施例并配合所附圖示說明如下。

本實用新型提出一種薄片，所述薄片包含一片以上的磁性L形薄片(如圖2中1所示)或磁性平直薄片，所述薄片采用含有鐵、鈷或者鎳的合金材料制成。