[實用新型]多晶爐長晶速度自動測量裝置有效
| 申請號: | 201120099102.5 | 申請日: | 2011-04-06 |
| 公開(公告)號: | CN202099411U | 公開(公告)日: | 2012-01-04 |
| 發明(設計)人: | 何安林;王東 | 申請(專利權)人: | 鎮江榮德新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B35/00 |
| 代理公司: | 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225 | 代理人: | 黃威;郭迎俠 |
| 地址: | 212200 江蘇省鎮*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 多晶 爐長晶 速度 自動 測量 裝置 | ||
1.一種多晶爐長晶速度自動測量裝置,其特征在于,包括:
用于與多晶爐中的晶錠接觸的石英棒;
用于驅動所述石英棒上下直線運動的驅動裝置;
安裝于所述驅動裝置上,用于測量所述驅動裝置的運行行程的位置傳感器;
安裝于所述驅動裝置與所述石英棒之間,用于判斷所述石英棒是否與所述晶錠接觸的第一壓力傳感器;
用于對測量過程進行參數設定并顯示測量結果的人機界面;
分別與所述驅動裝置、所述位置傳感器、所述第一壓力傳感器和所述人機界面電連接,用于接收所述人機界面輸入的參數以及所述位置傳感器和所述壓力傳感器所采集的信號,并根據接收到的所述第一壓力傳感器的信號和人機界面輸入的參數值控制所述驅動裝置驅動所述石英棒上升或下降的PLC。
2.根據權利要求1所述的多晶爐長晶速度自動測量裝置,其特征在于:所述驅動裝置為電動氣缸。
3.根據權利要求1所述的多晶爐長晶速度自動測量裝置,其特征在于:所述人機界面是觸摸屏。
4.根據權利要求1所述的多晶爐長晶速度自動測量裝置,其特征在于:所述人機界面輸入的參數包括測量周期和所述第一壓力傳感器的感應壓力值。
5.根據權利要求1所述的多晶爐長晶速度自動測量裝置,其特征在于:所述PLC內具有運算單元。
6.根據權利要求1所述的多晶爐長晶速度自動測量裝置,其特征在于:所述驅動裝置與所述石英棒之間還設有用于判斷所述石英棒是否與所述晶錠接觸的第二壓力傳感器。
7.根據權利要求6所述的多晶爐長晶速度自動測量裝置,其特征在于:所述第二壓力傳感器的壓力感應端與所述第一壓力傳感器的上表面連接。?
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