[實用新型]化腐機電控系統

有效

• 申請號: 201120097023.0
• 申請日: 2011-04-06
• 公開（公告）號: CN202041819U
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 靳立輝;張雪囡;李翔
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: G05B19/05
• 分類號: G05B19/05;C30B33/10
• 代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 莫琪

技術領域

????本實用新型涉及晶片化腐機，特別涉及化腐機電控系統。

背景技術

????化腐機是晶片生產加工的設備，由目前國內使用的從日本進口化腐機，整體性能可以滿足良好，但在實際使用中發現，其電控系統仍存在不足，經認真分析和研究，發現它的電控系統在程序控制，工藝流程上存在不合理的地方。

????現有機器進行化學腐蝕后流程是對硅片進行水洗，進行水洗時需用水150升。化腐機的純水暫存箱的水量是通過電控系統控制的，電控系統包括PLC?和傳感器，通過一個液面傳感器來測量純水液面，液面傳感器連接PLC，PLC根據液面數據通過換算得到純水暫存箱的儲水量，并由PLC控制純水暫存箱的進水閥門和出水閥門。

????當化腐機開始一個化腐流程之前，電控系統的PLC首先通過純水暫存箱的液面傳感器測量液面，判斷純水暫存箱內是否存有150升水；如果在上一次化腐流程后，若水量不夠150升，由PLC輸出端繼電器來控制打開純水暫存箱的進水閥門，?純水暫存箱充滿150升水需要11分鐘；當純水暫存箱存有150升水時，進水閥門關閉，機器進行化學腐蝕；化學腐蝕完畢后，由PLC輸出端繼電器來控制打開純水暫存箱的出水閥門，釋放150升水，對硅片進行水洗；化學腐蝕和水洗用時共為5分鐘。一個完整的化腐流程用時為:?5分鐘(化腐和水洗時間)+11分鐘(進水時間)=16分鐘；當操作人員取出硅片后，進行下一次化腐流程時，需要重新給純水暫存箱充水，在充水的11分鐘時間內，化腐機處于等待狀態；沒有充分利用有效工作時間，由此可見，現有的電控系統在程序控制和工藝流程上存在不合理的地方。

發明內容

????本實用新型的目的就是針對現有化腐機電控系統在程序控制和工藝流程上存在的不足，提供一種新的化腐機電控系統技術方案，在程序控制和工藝流程上進行改進，使化腐機進行化腐和水洗流程的同時控制進水閥門Y60可以持續打開，增加純水暫存箱的存水量，使充水過程不再占用有效工作時間，化腐機不再有單獨的等待進水狀態；使化腐機可連續進行化腐和水洗流程。

????本實用新型是通過這樣的技術方案實現的：化腐機電控系統包括PLC和液面傳感器，其特征在于，PLC的四個數字量輸入端分別連接液面傳感器X01、液面傳感器X02、液面傳感器X03和一個出水流量計X00，由PLC的兩個輸出端繼電器分別控制進水閥門Y60和出水閥門Y61；純水暫存箱外壁設有連通純水暫存箱內的水管，液面傳感器X03、液面傳感器X02和液面傳感器X01由上至下依次安裝在水管上，進水閥門Y60安裝在純水暫存箱的進水管上，出水流量計X00和出水閥門Y61安裝在純水暫存箱的出水管上。

????本實用新型的化腐機電控系統通過設置多個液面傳感器測量純水暫存箱的水量數據，并改進PLC程序和工藝流程，使化腐機進行化腐和水洗流程的同時控制進水閥門Y60可以照樣打開，增加純水暫存箱的存水量，使充水過程不再占用有效工作時間，化腐機不再有等待上水狀態，化腐機可連續、不間斷地進行化腐和水洗流程，本實用新型使化腐機進行一個化腐和水洗流程所用時間只有5分鐘，節省了進水消耗掉的11分鐘時間，遠遠小于改造前的16分鐘，最大限度的減少上水時間，提高設備的生產效率，降低化腐片單片的水耗及電耗，根據理論產能的計算，它的產量會增加220%，每片硅片的水消耗為目前水消耗的61%，每片硅片的電耗為目前水消耗的31%。

附圖說明

????圖1是化腐機電控系統PLC電路圖；

????圖2是電控系統PLC程序流程圖；

????圖3是純水暫存箱示意圖。

具體實施方式

????為了更清楚的理解本實用新型，結合附圖和實施例詳細描述：?

????如圖1、圖2和圖3所示，化腐機電控系統包括PLC和液面傳感器，?PLC的四個數字量輸入端分別連接液面傳感器X01、液面傳感器X02、液面傳感器X03和一個出水流量計X00，由PLC的兩個輸出端繼電器分別控制進水閥門Y60和出水閥門Y61；純水暫存箱1外壁設有連通純水暫存箱1內的水管2，液面傳感器X03、液面傳感器X02和液面傳感器X01由上至下依次安裝在水管2上，進水閥門Y60安裝在純水暫存箱1的進水管3上，出水流量計X00和出水閥門Y61安裝在純水暫存箱1的出水管4上。

液面傳感器X01用于測量150升水量對應的下限液面；

液面傳感器X02用于測量400升水量對應的上限液面；

液面傳感器X03用于測量450升水量對應的超限報警液面；