[實(shí)用新型]OLED玻璃基片清洗設(shè)備

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120096600.4
• 申請(qǐng)日: 2011-04-02
• 公開（公告）號(hào): CN202067842U
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;郭遠(yuǎn)倫;劉惠森;范繼良;王曼媛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;B08B11/04
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)清洗工藝設(shè)備，更具體地涉及一種OLED玻璃基片清洗設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著各種半導(dǎo)體產(chǎn)品的廣泛應(yīng)用及半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品的批量生產(chǎn)規(guī)模越來越大。同時(shí)半導(dǎo)體產(chǎn)品的尺寸也越來越大，導(dǎo)致半導(dǎo)體工藝日趨復(fù)雜。而產(chǎn)品的生產(chǎn)不僅要求高精度，也要求高效率及高自動(dòng)化，因此，對(duì)生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)工藝也提出了更高的要求。對(duì)于半導(dǎo)體制品，例如有機(jī)發(fā)光顯示器件、液晶顯示器件、非晶硅太陽(yáng)能電池板等，其生產(chǎn)都需要利用玻璃等作為基片，在基片上進(jìn)行多種工序進(jìn)而形成多層薄膜，工藝步驟中涉及的鍍膜、光刻、蝕刻等工藝會(huì)產(chǎn)生粉塵附著在基片上，進(jìn)而影響基片的清潔度，基片的清潔度對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量有著重大影響。因此，在于鍍膜、光刻及蝕刻等步驟中必須貫穿有清洗步驟，以維持基片在生產(chǎn)過程中的表面清潔度。

以O(shè)LED(Organic?Light-Emitting?Diode，即有機(jī)發(fā)光二極管)為例，OLED的制造一般都在玻璃基片上進(jìn)行多次工藝步驟，進(jìn)而在基片上相繼沉積多層薄膜，其膜層主要包括在玻璃基片上形成的透明陽(yáng)極，在陽(yáng)極上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層，最后是金屬陰極層；在上述各個(gè)工藝步驟中若基片上沉積有粉塵，在下一膜層的形成過程中會(huì)將其覆蓋，從而影響膜層的厚度和均勻性，進(jìn)而影響后續(xù)的工藝質(zhì)量，最終使OLED的質(zhì)量降低。可見所述基片的清潔起著舉足輕重的作用，因此需要一種基片清洗裝置，對(duì)所述基片進(jìn)行高效清洗的同時(shí)也能保證所述基片的高清潔度。

現(xiàn)有用于清潔基片的裝置具有長(zhǎng)方形的流體噴射區(qū)，在該區(qū)域內(nèi)相隔預(yù)定位置設(shè)置有多個(gè)噴射口，當(dāng)運(yùn)動(dòng)的基片經(jīng)過時(shí)，噴射口內(nèi)噴射出清洗液進(jìn)而對(duì)基片進(jìn)行清洗。但是，這種清潔基片的裝置只是對(duì)所述基片進(jìn)行簡(jiǎn)單的流水線沖洗，清洗不夠徹底。為解決上述問題，通常會(huì)另外增設(shè)清洗裝置來進(jìn)一步清洗所述基片，但這樣便導(dǎo)致整個(gè)清潔裝置的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且增加了生產(chǎn)成本。

因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、清潔效率及清潔度高、清洗徹底的OLED玻璃基片清洗設(shè)備。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種OLED玻璃基片清洗設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、清潔效率及清潔度高、清洗徹底。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種OLED玻璃基片清洗設(shè)備，包括清洗機(jī)構(gòu)、傳輸機(jī)構(gòu)以及控制機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)控制所述清洗機(jī)構(gòu)清洗OLED玻璃基片及控制所述傳輸機(jī)構(gòu)傳輸OLED玻璃基片，所述傳輸機(jī)構(gòu)形成一呈水平狀的承載面，所述OLED玻璃基片承載于所述承載面上并被傳輸。其中，所述清洗機(jī)構(gòu)包括依次排列的沖洗裝置、風(fēng)干裝置以及烘干裝置，所述沖洗裝置、風(fēng)干裝置以及烘干裝置依次對(duì)所述OLED玻璃基片進(jìn)行洗刷、風(fēng)干以及烘干，所述沖洗裝置包括至少兩組噴淋管組，所述噴淋管組包括呈對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的噴淋管，所述噴淋管均勻設(shè)有朝向所述承載面的噴嘴，所述噴淋管相互連通且均與外界清洗液連通，位于同一側(cè)的相鄰的所述噴淋管之間設(shè)有滾刷，位于所述承載面的上、下側(cè)的所述滾刷呈對(duì)稱設(shè)置。

具體地，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)裝置、滾輪及固定架，所述滾輪均勻樞接于所述固定架的兩側(cè)并形成所述承載面，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)所述OLED玻璃基片移動(dòng)。

在本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例中，所述OLED玻璃基片清洗設(shè)備還包括升降裝置及放置于所述升降裝置上的框架，所述控制機(jī)構(gòu)與所述升降裝置電連接并控制所述升降裝置升降，所述升降裝置對(duì)接于所述傳輸機(jī)構(gòu)的輸入端處，所述框架內(nèi)呈層狀的設(shè)置若干相互平行的供OLED玻璃基片放置的卡槽。

較佳地，所述OLED玻璃基片清洗設(shè)備還包括用于儲(chǔ)存清洗液的水箱及與所述水箱連通的總水管，所述總水管分別與所述噴淋管連通。

較佳地，所述烘干裝置為紫外發(fā)光裝置。

具體地，所述風(fēng)干裝置包括至少兩組吹風(fēng)管組，所述吹風(fēng)管組包括成對(duì)稱設(shè)于所述承載面的上、下側(cè)的吹風(fēng)管，所述吹風(fēng)管呈水平傾斜設(shè)置且均勻開設(shè)有氣流孔，所述氣流孔朝向所述承載面并與所述OLED玻璃基片呈銳角，所述吹風(fēng)管與外界壓縮空氣裝置連通。

較佳地，所述吹風(fēng)管的橫截面呈矩形，所述氣流孔沿所述吹風(fēng)管的軸向形成排狀。