[實用新型]OLED玻璃基片清洗系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120096589.1
• 申請日: 2011-04-02
• 公開（公告）號: CN202076333U
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發(fā)明（設計）人: 楊明生;郭遠倫;劉惠森;范繼良;王曼媛
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;B08B11/04
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術領域

本實用新型涉及一種自動清洗工藝系統(tǒng)，更具體地涉及一種OLED玻璃基片清洗系統(tǒng)。

背景技術

隨著各種半導體產品的廣泛應用及半導體技術的發(fā)展，半導體產品的批量生產規(guī)模越來越大。同時半導體產品的尺寸也越來越大，導致半導體工藝日趨復雜。而產品的生產不僅要求高精度，也要求高效率及高自動化，因此，對生產半導體產品的生產系統(tǒng)和生產工藝也提出了更高的要求。對于半導體制品，例如有機發(fā)光顯示器件、液晶顯示器件、非晶硅太陽能電池板等，其生產都需要利用玻璃等作為基片，在基片上進行多種工序進而形成多層薄膜，工藝步驟中涉及的鍍膜、光刻、蝕刻等工藝會產生粉塵附著在基片上，進而影響基片的清潔度，基片的清潔度對產品的質量有著重大影響。因此，在于鍍膜、光刻及蝕刻等步驟中必須貫穿有清洗步驟，以維持基片在生產過程中的表面清潔度。

以OLED(Organic?Light-Emitting?Diode，即有機發(fā)光二極管)為例，OLED的制造一般都在玻璃基片上進行多次工藝步驟，進而在基片上相繼沉積多層薄膜，其膜層主要包括在玻璃基片上形成的透明陽極，在陽極上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層，最后是金屬陰極層；在上述各個工藝步驟中若基片上沉積有粉塵，在下一膜層的形成過程中會將其覆蓋，從而影響膜層的厚度和均勻性，進而影響后續(xù)的工藝質量，最終使OLED的質量降低。可見所述基片的清潔起著舉足輕重的作用，因此需要一種基片清洗裝置，對所述基片進行高效清洗的同時也能保證所述基片的高清潔度。

而在所述OLED的多層膜層形成過程中，除了清洗之外，另一重要工序是風干。若所述玻璃基片上殘留清洗液或水珠，將會影響OLED的質量。為解決上述問題，通常會另外增設風干裝置來風干所述玻璃基片，但這樣便導致整個清潔系統(tǒng)的結構復雜，且增加了生產成本。

因此，急需一種結構簡單、自動化程度高的OLED玻璃基片清洗系統(tǒng)。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種OLED玻璃基片清洗系統(tǒng)，其結構簡單、自動化程度高。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種OLED玻璃基片清洗系統(tǒng)，包括清洗機構、傳輸機構、控制機構、升降裝置及放置于所述升降裝置的框架，所述控制機構控制所述清洗機構清洗OLED玻璃基片及控制所述傳輸機構傳輸OLED玻璃基片，所述傳輸機構形成一呈水平狀的承載面，所述OLED玻璃基片承載于所述承載面上并被傳輸。其中，所述清洗機構包括依次排列的沖洗裝置、風干裝置以及烘干裝置，所述傳輸機構依次穿過所述沖洗裝置、風干裝置、烘干裝置，所述沖洗裝置、風干裝置以及烘干裝置依次對所述OLED玻璃基片進行洗刷、風干以及烘干，所述風干裝置包括至少兩組吹風管組，所述吹風管組包括呈對稱設于所述承載面的上、下側的吹風管，所述吹風管呈水平傾斜設置且均勻開設有氣流孔，所述氣流孔朝向所述承載面并與所述OLED玻璃基片的傳輸方向呈銳角，所述吹風管與外界壓縮空氣裝置連通。

具體地，所述吹風管的橫截面呈矩形，所述氣流孔沿所述吹風管的軸向形成排狀。

具體地，所述傳輸機構包括驅動裝置、滾輪及固定架，所述滾輪均勻樞接于所述固定架的兩側并形成所述承載面，所述驅動裝置驅動所述滾輪轉動并帶動所述OLED玻璃基片移動。

較佳地，所述OLED玻璃基片清洗系統(tǒng)還包括用于儲存清洗液的水箱及與所述水箱連通的總水管，所述總水管分別與所述噴淋管連通。

具體地，所述風干裝置包括至少兩組吹風管組，所述吹風管組包括成對稱設于所述承載面的上、下側的吹風管，所述吹風管呈水平傾斜設置且均勻開設有氣流孔，所述氣流孔朝向所述承載面并與所述OLED玻璃基片呈銳角，所述吹風管相互連通且與外界壓縮空氣裝置連通。

較佳地，所述烘干裝置為紫外發(fā)光裝置。