[實(shí)用新型]真空對(duì)位系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120096578.3
• 申請(qǐng)日: 2011-04-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202049932U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;張永紅;劉惠森;范繼良;王曼媛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/68
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/68;H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環(huán)專(zhuān)利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種真空對(duì)位系統(tǒng)，用于有機(jī)發(fā)光顯示器生產(chǎn)過(guò)程中掩膜板和基片的對(duì)位，其特征在于：該真空對(duì)位系統(tǒng)包括真空腔室、支撐桿、對(duì)位檢測(cè)裝置、驅(qū)動(dòng)裝置和控制器，所述真空腔室內(nèi)安裝有承載所述掩膜板的托板以及夾持所述基片的夾持器；所述對(duì)位檢測(cè)裝置檢測(cè)所述掩膜板和基片的對(duì)位效果，并將檢測(cè)到的信息發(fā)送到控制器，所述控制器與所述驅(qū)動(dòng)裝置相連并控制所述驅(qū)動(dòng)裝置動(dòng)作，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述支撐桿的一端相連并驅(qū)動(dòng)所述支撐桿動(dòng)作，所述支撐桿的另一端密封穿過(guò)所述真空腔室后與所述托板固定連接，并帶動(dòng)所述托板做升降、水平、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

2.如權(quán)利要求1所述的真空對(duì)位系統(tǒng)，其特征在于：所述對(duì)位檢測(cè)裝置包括安裝在真空腔室內(nèi)的對(duì)位光源和安裝在所述托板下方的電荷耦合元件，所述電荷耦合元件在所述基片的相應(yīng)位置上形成對(duì)位光標(biāo)，所述掩膜板上開(kāi)設(shè)有與所述對(duì)位光標(biāo)相對(duì)應(yīng)的對(duì)位孔。

3.如權(quán)利要求1所述的真空對(duì)位系統(tǒng)，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)裝置包括升降電機(jī)、水平調(diào)節(jié)平臺(tái)、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)平臺(tái)以及絲桿，所述升降電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸與所述絲桿相連并控制所述絲桿做旋轉(zhuǎn)升降運(yùn)動(dòng)，所述支撐桿遠(yuǎn)離所述托板的一端穿過(guò)所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)平臺(tái)和水平調(diào)節(jié)平臺(tái)并與所述絲桿的另一端相連，所述水平調(diào)節(jié)平臺(tái)內(nèi)安裝有與所述支撐桿相連的水平驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)平臺(tái)內(nèi)安裝有與所述支撐桿相連的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述升降電機(jī)通過(guò)絲桿控制所述支撐桿做升降運(yùn)動(dòng)，所述水平調(diào)節(jié)電機(jī)控制所述支撐桿沿水平方向移動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)控制所述支撐桿做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

4.如權(quán)利要求1所述的真空對(duì)位系統(tǒng)，其特征在于：還包括水平保持裝置，所述支撐桿分為與托板相連的上半部分和與驅(qū)動(dòng)裝置相連的下半部分，所述水平保持裝置包括開(kāi)設(shè)有錐形凹槽的凹部和具有錐形頭的凸部，所述凸部與所述支撐桿的上半部分相連，所述凹部與所述支撐桿的下半部分相連，所述錐形頭伸入所述錐形槽，且所述凸部與所述凹部樞接。

5.如權(quán)利要求4所述的真空對(duì)位系統(tǒng)，其特征在于：所述支撐桿的上半部分穿過(guò)一波紋管，所述波紋管的一端與所述凸部密封連接，所述波紋管的另一端與所述真空腔室密封連接。