[實用新型]一種鐘罩式熱壁碳化硅高溫外延片生長裝置

無效

• 申請號: 201120095792.7
• 申請日: 2011-04-02
• 公開（公告）號: CN202039157U
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 俞軍;歐陽忠;李錫光;李錫光
• 申請（專利權）人: 東莞市天域半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B25/02
• 分類號: C30B25/02;C30B25/14;C30B29/36
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所 44231
• 代理人: 魯慧波

1.一種鐘罩式熱壁碳化硅高溫外延片生長裝置，其特征在于，包括支架、升降架、石墨托盤、石英鐘罩、隔熱板、射頻加熱器、不銹鋼腔體；石墨托盤固定于支架上，支架設有支撐桿，升降架設于該支撐桿上并以一電機驅動，所述石英鐘罩、隔熱板、射頻加熱器固定于升降架上，且石英鐘罩與升降架之間密閉連接；不銹鋼腔體與支架固定連接，所述石墨托盤包括石墨管、石英管、上層石墨蓋及中層石墨托盤、石墨環、一電機，中層石墨托盤下端部中央設有凹槽，凹槽上方中央設有通孔；所述石墨管上端置入中層石墨托盤底部的凹槽內配合定位；石英管套設于石墨管內，且石英管的管芯與凹槽上方的通孔聯通；上層石墨蓋下端設有容納基片的基板槽，中層石墨托盤上端設有容納基板的基板槽及凸出于中層石墨托盤上表面的支撐塊，上層石墨蓋設于中層石墨托盤上端，之間以支撐塊銜接；石墨環環繞于中層石墨托盤和上層石墨蓋設置，且上層石墨蓋與石墨環預留有間隙；所述石墨管還與另一電機驅動連接；所述石墨托盤以保溫碳氈包裹，并固定于不銹鋼腔體的不銹鋼底托上；不銹鋼腔體上設有排氣口。

2.根據權利要求1所述的鐘罩式熱壁碳化硅高溫外延片生長裝置，其特征在于，所述保溫碳氈與不銹鋼底托之間設有石英托盤。

3.根據權利要求2所述的鐘罩式熱壁碳化硅高溫外延片生長裝置，其特征在于，所述中層石墨托盤按圓心角均勻分布數個基板槽，支撐塊呈扇形，支撐塊均勻分別于兩兩基板槽之間，且扇形頂角對準通孔圓心。