[實用新型]一種多晶硅棒研磨機

無效

• 申請號: 201120090650.1
• 申請日: 2011-03-31
• 公開（公告）號: CN202062301U
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 姚興平
• 申請（專利權）人: 江蘇新潮光伏能源發展有限公司
• 主分類號: B24B37/02
• 分類號: B24B37/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 徐激波

技術領域

本實用新型涉及一種多晶硅研磨設備，具體涉及一種多晶硅棒研磨機。

背景技術

多晶硅棒研磨機是利用壓嵌在研具上的磨料顆粒，通過電動機帶動砂輪高速旋轉并與工件在一定壓力下相對運動，對硅棒的加工表面進行精加工，去除因切方機鋼線給力不足造成的硅棒表面線痕，達到生產工藝需要。目前現有的多晶研磨機價格比較昂貴，而相對來說普通機械研磨機價格比較便宜，但是普通機械研磨機不能對大規格的晶棒平磨，使得對多晶硅棒進行研磨成本較高。

發明內容

本實用新型的目的是為了克服現有技術的不足，提供一種多晶硅棒研磨機。

本實用新型采用的技術方案是：一種多晶硅棒研磨機，包括平面吸盤、晶棒夾具和樹脂砂輪，所述平面吸盤的上、下兩邊各安裝有所述晶棒夾具，晶棒夾具的側方設置有所述樹脂砂輪。

本實用新型通過對普通機械研磨機輕微的改動，把原粗砂輪改為樹脂砂輪，吸盤加裝晶棒夾具，即可讓其實現多晶研磨機的功能。

使用時在平面吸盤兩邊加裝晶棒夾具，晶棒放在平面吸盤上通過夾具上的固定裝置固定晶棒，再啟動砂輪對晶棒加工面進行精整加工。

有益效果：本實用新型通過對普通機械研磨機機械結構的改進，使其可以對大規格的晶棒進行平磨，并達到產品質量要求，而且安全系數提高、操作更方便，大大降低了產品成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為圖1的側視圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明：

如圖1和2所示：一種多晶硅棒研磨機，包括平面吸盤1、晶棒夾具2和樹脂砂輪，所述平面吸盤1的上、下兩邊各安裝有所述晶棒夾具2，晶棒夾具2的側方設置有所述樹脂砂輪。