[實(shí)用新型]激光頻移反饋輪廓測(cè)量裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201120077575.5
• 申請(qǐng)日: 2011-03-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201983769U
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 凌進(jìn)中;馬軍山;周小勇;孫晶露
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海理工大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 上海申匯專(zhuān)利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根

1.一種激光頻移反饋輪廓測(cè)量裝置，包括激光器、3個(gè)準(zhǔn)直透鏡、分光鏡、針孔、光電探測(cè)器、計(jì)算機(jī)，其特征在于，還包括鎖相放大器、聲光移頻器以及其射頻驅(qū)動(dòng)，激光器出射的發(fā)散光束經(jīng)過(guò)第一準(zhǔn)直透鏡后，平行光經(jīng)過(guò)分光鏡分成兩束互相垂直的光，其中一束光沿原方向通過(guò)聲光移頻器后經(jīng)過(guò)第三準(zhǔn)直透鏡匯聚到測(cè)量樣品的表面，另一束垂直光經(jīng)過(guò)第二準(zhǔn)直透鏡后匯聚于焦點(diǎn)位置的針孔，光電探測(cè)器接收焦點(diǎn)的光，將光強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)換成電流信號(hào)再送入鎖相放大器，射頻驅(qū)動(dòng)為聲光移頻器提供射頻驅(qū)動(dòng)，同時(shí)采集聲光移頻器的差頻信號(hào)送入鎖相放大器，鎖相放大器將測(cè)量信號(hào)送入計(jì)算機(jī)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述激光頻移反饋輪廓測(cè)量裝置，其特征在于，所述激光器采用弛豫振蕩頻率低的微片激光器。