[實用新型]基板搬送裝置

有效

• 申請號: 201120071933.1
• 申請日: 2011-03-17
• 公開（公告）號: CN202063556U
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 沐俊應;劉光海
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G47/90
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 張穎玲;武晨燕

技術領域

本實用新型涉及平板顯示領域，特別是薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD，Thin?Film?Transistor-Liquid?Crystal?Display)的彩色濾光片(CF，Color?Filter)制造領域中所涉及的基板搬送裝置。

背景技術

目前，在平板顯示領域，特別是在高世代TFT-LCD的CF制造領域，為了進行產品不良分析、工藝條件測試、不良基板的廢棄等作業，需要在生產線(Line)的多個節點進行基板的手工投入和取出。基板搬送裝置“基板搬送手推車”(簡稱S-MGV，Sheet-Manual?Guided?Vehicles)很適于基板的手工投入和取出，在生產制造過程中起著非常重要的作用。

下面說明一下現有技術中的基板搬送裝置，圖1為現有技術基板搬送裝置S-MGV的剖面結構示意圖，所述基板搬送裝置S-MGV包括：主體結構(MainBody)1；帶有車輪(Wheel)的底座2；第一基板支撐桿(簡稱第一Fork)3′；固定在第一Fork?3′上的基板支撐墊(Glass?Support?Pad?Holder)4；帶有第一內滑軌的Fork連接部5；可控制第一Fork?3′前后移動的第一外滑軌6；可將第一Fork?3′鎖定及松開的第一鎖定桿(Lock?Release?Lever)7；第一Fork?3′的第一升降機構(Lifter)8。其中，第一主體結構1連接底座2、Fork連接部5。

圖2、圖3分別為現有技術基板搬送裝置S-MGV的第一Fork俯視圖及側視圖。其中，基板支撐墊4為柔性材質，在承受基板重量時被壓縮排氣，對基板起吸著固定作用。

需要說明的是，上述基板搬送裝置S-MGV須借助專門的基板移載單元(簡稱S-MGV?Port)進行基板的投入和取出。所述S-MGV?Port為可容下一枚基板的腔室(Chamber)單元，內有基板支撐柱(Pin)若干列。這里，對基板的投入和取出操作過程作進一步的說明：上述基板搬送裝置S-MGV通過第一外滑軌6將第一Fork?3′向S-MGV?Port內伸入一部分，并將底座2完全推入S-MGVPort的下方；所述基板搬送裝置S-MGV上載有基板時將其第一Fork?3′升至高于所述S-MGV?Port的基板支撐柱的位置，調節第一升降機構8將第一Fork?3′降至低于基板支撐柱的位置即可完成基板向生產線的投入。與此相反的操作，可完成取出基板。

此外，現有相關技術雖然可在基板流動傳送機構(Conveyor)內設置一組可升降的轉向滾輪(Steering?Roller)，并且可先通過Steering?Roller將基板從Conveyor上升起，再手動將基板沿Steering?Roller滾動取出。然而，該方案只支持將基板從生產線上取出廢棄，卻難以實現基板的投入操作。

綜上所述，現有技術中的基板搬送裝置S-MGV主要存在以下缺陷：

一方面，基板搬送裝置S-MGV需要專門的S-MGV?Port，這不僅占用無塵室空間，還增加設備投入成本；

另一方面，基板搬送裝置S-MGV只能將第一Fork?3′向S-MGV?Port內伸入一部分，同時需要將底座2完全推入S-MGV?Port的下方，才可投入和取出基板。這樣，在下部沒有足夠空間的設備處，基板搬送裝置S-MGV是無法進行基板投入和取出操作的，因而限制了生產線上基板投入和取出節點的數量和分布，從而約束了產品不良分析及工藝條件測試的內容。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種基板搬送裝置，能夠增加生產線中可投入和取出基板的節點數量。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

本實用新型公開一種基板搬送裝置，該裝置包括：主體結構；底座，與所述主體結構連接；基板支撐桿，與所述主體結構連接；可相對所述基板支撐桿升降的輔助滾輪部件，設置在所述基板支撐桿上。

其中，所述主體結構內設有第一升降機構，所述第一升降機構與所述基板支撐桿連接。

上述裝置中，所述基板支撐桿進一步包括：固設在所述基板支撐桿上的基板支撐墊；與所述主體結構連接的基板支撐桿連接部；將所述基板支撐桿在指定位置進行鎖定及解鎖的第一鎖定桿。

進一步地，所述基板支撐桿還包括控制基板支撐桿前后移動的第一外滑軌；其中，所述基板支撐桿連接部設有與所述第一外滑軌相配合的第一內滑軌。

上述裝置中，所述輔助滾輪部件進一步包括：輔助滾輪，固定所述輔助滾輪的輔助滾輪固定桿，連接各所述輔助滾輪固定桿的輔助滾輪固定桿連接部。